LH3-SC200-SE精密勻膠機(jī)是一種小型,、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性,。 
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀,；工業(yè)級(jí)別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義,；同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性,。 
主要性能指標(biāo)： 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔） 
旋涂程序：zui多存100組程序,，每組100步，每個(gè)步驟可到0.1秒 
轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm（更高速可選）,，考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm 
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選）,，考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s 
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差<±1rpm 
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性<1rpm 
工藝時(shí)間設(shè)定：0-3,000sec/step,，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶） 
旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量） 
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)： 
的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),，縮小了設(shè)備的尺寸。 
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),，更方便操作,。 
on?/polyethylene“密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。 
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制,。 
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。 
機(jī)身選用耐酸堿,、耐沖擊,、耐腐蝕不銹鋼，生銹,，便于清洗,。 
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部（以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。 
透明可視,，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。 
產(chǎn)品外型尺寸： 
613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)