電鏡和其它精密儀器對環(huán)境震動要求很高,，例如電鏡要求X,、Y、Z方向的低頻震動（0~30Hz）＜6微米,；30Hz以上的高頻震動＜12微米.,。20Hz以下的低頻震動，對電鏡的干擾影響zui大,。如果超過該指標,，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像,。

普通掃描電子顯微鏡（SEM）當安置到樓房高層（2層以上）,，或置于有強震動的場地時（例如附近地下有地鐵，）,，高倍率3萬倍以上觀察,、照相就無法進行。而必須使用震動隔離系統(tǒng)-防振臺,。

場發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相,，對震動要求更高。即便安裝在一樓,，也都不能滿足要求,。一般都要求安裝防振臺。

當然,，用于電鏡的防振臺更適于其它精密儀器,。

瑞士Table Stable公司的AVI400型是世界上的防震臺。它為2個分離單元的隔振墊塊,，安裝非常方便,。

              瑞士Table Stable公司的AVI400型防振臺

2         原理

防振臺有2鐘：被動式和主動式的。

被動式的是采用橡膠,、金屬彈簧,、空氣彈簧等，20Hz以下的低頻震動減震效果很差,，在0~20Hz 會增加SEM 的諧振,，不被采用。

主動式的是采用3維探測器,，檢測3維方向（X、Y,、Z）傳來的外部震動,，由PID(     )控制器產(chǎn)生等幅、反相的控制信號,，再由執(zhí)行機構(gòu)產(chǎn)生等幅,、反相的內(nèi)部震動來抵消或減弱外部的震動干擾?，F(xiàn)在,，國外技術的防振臺都是主動式的,，常用的有壓電陶瓷式、空氣式,、電磁式、電動機式等,。

3         選型

瑞士Table Stable公司的執(zhí)行機構(gòu)-隔振墊塊,，是2個長條式的模塊，體積輕巧,，體積小，安裝方便,，價格適中，國內(nèi)用戶較多,。相比德國B公司,、美國T公司的執(zhí)行機構(gòu)-隔振墊塊都是方形平臺式的，體積大,，安裝不便，價格貴,，且需要SEM的廠家現(xiàn)場協(xié)助。

4         實用效果

客戶的EVO MA 25 SEM安裝在3樓,，1萬倍以上照相無法進行,。2012年12至今,，使用瑞士的AVI-400型防震臺,，了電鏡的正常使用,，10～20萬倍照相，也可以得到滿意圖像.