12月2日,，美國商務部工業(yè)和安全局（BIS）更新了《出口管理條例》（EAR），將140個中國半導體行業(yè)相關實體納入“實體清單”,，限制中國在人工智能和先進半導體領域的發(fā)展,。這是美國近三年來第三次對中國半導體行業(yè)實施限制措施。
被列入“實體清單”的企業(yè),，將面臨無法采購美國生產(chǎn)的電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）的困境,。而ICP-MS在半導體產(chǎn)業(yè)的多個核心環(huán)節(jié)中扮演著至關重要的角色，它廣泛應用于材料檢測,、制程控制,、性能測試、質(zhì)量控制和研發(fā)支持等方面,，是保障半導體產(chǎn)品質(zhì)量的關鍵設備。
半導體器件的制造過程中對污染源的管理極為嚴格,，特別是對晶圓,、電子濕化學品、電子特氣及靶材等核心原材料中的無機元素雜質(zhì)含量需進行精密控制,。因為即使是非常微量的雜質(zhì),，也可能導致介質(zhì)擊穿電壓降低，進而影響成品器件的電氣性能,，造成器件缺陷,。為確保生產(chǎn)材料中的金屬污染物濃度嚴格符合限制要求，在半導體器件的生產(chǎn)過程中,，必須全程使用ICP-MS技術對無機元素雜質(zhì)進行精確分析,。
萊伯泰科是最早以半導體行業(yè)為導向研發(fā)生產(chǎn)ICP-MS的國產(chǎn)儀器企業(yè)之一。2021年5月,，萊伯泰科隆重發(fā)布LabMS 3000單四極桿ICP-MS,，劍指半導體行業(yè)，并于次年在國內(nèi)半導體頭部企業(yè)成功通過驗證,，引發(fā)了業(yè)界的廣泛關注和熱烈討論,。2023年3月，萊伯泰科再次發(fā)力,，推出了LabMS 5000串聯(lián)四極桿ICP-MS/MS,，進一步提升了分析精度，降低了檢出限,，并在國內(nèi)率先通過了SEMI S2認證,，以更加卓越的性能深層次進軍半導體行業(yè),。
萊伯泰科宣布進軍半導體行業(yè)的時候，外界普遍持懷疑態(tài)度,，認為這是一個很難成功的事情,。因為半導體行業(yè)樣品中的雜質(zhì)元素含量通常處于ppt及亞ppt級別，使用ICP-MS分析時,，等離子產(chǎn)生的氬離子以及待測樣品基質(zhì)均會帶來嚴重的質(zhì)譜干擾,，影響測試精度及準確度。萊伯泰科持續(xù)攻堅,，成功攻克了冷等離子技術與串聯(lián)四極桿技術,，并進一步優(yōu)化了儀器的空白背景及可靠性，從而滿足了半導體行業(yè)對樣品中痕量元素分析的高標準需求,，以及集成電路制造企業(yè)在安全規(guī)范與長期穩(wěn)定運行方面的嚴苛要求,。正是這份堅持與執(zhí)著，萊伯泰科陸續(xù)成功推出LabMS 3000和LabMS 5000,，在半導體行業(yè)國產(chǎn)替代的道路上穩(wěn)步前行,。從最初的質(zhì)疑到如今的認可，萊伯泰科用實際行動詮釋了“難,，并不意味著不可能”,。
如今，萊伯泰科自主研發(fā)的ICP-MS已成功進入我國多家芯片,、光伏和面板頭部生產(chǎn)企業(yè),，產(chǎn)品被廣泛應用于硅材料、電子濕化學品,、光刻膠,、高純PFA、CMP拋光液以及化合物半導體等多個半導體生產(chǎn)環(huán)節(jié),，為客戶提供了精準,、高效的解決方案。這些成績的取得,，不僅是對其技術實力的最好證明,，更是對國產(chǎn)替代戰(zhàn)略的積極響應和實踐。即使面對外部限制,，也能保持穩(wěn)定發(fā)展,。
萊伯泰科ICP-MS已進入的半導體行業(yè)應用領域
萊伯泰科憑借深厚的技術積累與產(chǎn)品優(yōu)勢，精心為半導體行業(yè)量身定制了《萊伯泰科半導體行業(yè)檢測綜合解決方案》,。該方案不僅涵蓋了先進的ICP-MS技術,，還融入了廣受行業(yè)好評的無機元素樣品前處理技術及超凈實驗室建設工程服務。
這場科技冷戰(zhàn)的序幕已經(jīng)拉開,，未來的走向充滿了不確定性,。面對這樣的挑戰(zhàn)，科學儀器行業(yè)也將面臨重大挑戰(zhàn),，國產(chǎn)儀器的自主發(fā)展變得尤為重要,。在外部環(huán)境的壓力下，行業(yè)需要加大力度進行自主研發(fā)和技術創(chuàng)新,，加快實現(xiàn)國產(chǎn)化替代,，以增強自身的國際競爭力。
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