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濟寧天華超聲電子儀器有限公司

實驗室數(shù)控超聲波清洗器,全自動醫(yī)用超聲波清洗機

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TH-20KW-多晶硅超聲波清洗機

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  • 2025年4月12日
  • 2025年10月12日
  • 山東濟寧市
  • 濟寧
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【產(chǎn)品簡介】

多晶硅超聲波清洗機產(chǎn)品介紹 1,、機械手或多機械手組合,,實現(xiàn)工位工藝要求。

2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,,操作便利,。

3,、自動上下料臺,,準確上卸工件。

4,、凈化烘干槽,,*的烘干前處理技術(shù),,工作干燥無水漬,。

5、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),,確保良好工作環(huán)境。

6,、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻,。


【詳細說明】

多晶硅超聲波清洗機產(chǎn)品介紹   1、機械手或多機械手組合,,實現(xiàn)工位工藝要求,。


2,、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,,操作便利。


3、自動上下料臺,,準確上卸工件。


4,、凈化烘干槽,,*的烘干前處理技術(shù),,工作干燥無水漬。


5,、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),,確保良好工作環(huán)境。


6,、具備拋動清洗功能,,保證清洗均勻,。

多晶硅超聲波清洗機技術(shù)參數(shù) 超聲波功率:10.2KW 超聲波頻率:40K/80KHZ 換能器數(shù)量:200個 電源電壓:三相五線380V應用范圍 多晶硅超聲波清洗加工設(shè)備,可廣泛用于IC生產(chǎn)及半導體元器 件生產(chǎn)中晶片的濕法化學工藝,。該設(shè)備可有效去除晶片表面的 有機物、顆粒,、金屬雜質(zhì),、自然氧化層及石英,、塑料等附件器 皿的污染物,,且不破壞晶片表面特性,。 爐前(RCA)清洗:擴散前清洗 光刻后清洗:除去光刻膠。 氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所胡的沾污物,。 拋光后自動清洗:除去切,、磨,、拋的沾污。 外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物,。 合 金前,、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘渣,。離子注入后的清洗:除去光刻膠,,SiO2層。擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG,。CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒,。附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。



    
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