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測量技術(shù)與儀器發(fā)展趨勢
測量技術(shù)與儀器涉及所有物理量的測量,，對于材料、工程科學(xué),、能源科學(xué)關(guān)系密切,。目前的發(fā)展趨勢有以下幾點：
(1)以自然基準(zhǔn)溯源和傳遞，同時在不同量程實現(xiàn)比對,。如果自己沒有能力比對就要依靠其它國家,。
(2)高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm,，并正向0.18μm過渡,，2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3,，那么就要求10nm量級的精度,，而且晶片尺寸還在增大，達到300mm,。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方,，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級。
(3)高速度,。目前加工機械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上,，上世紀(jì)80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng),，其原因是后者的速度達到了1m/sec,。
(4)高靈敏，高分辨,，小型化,。如將光譜儀集成到一塊電路板上。
(5)標(biāo)準(zhǔn)化,。通訊接口過去常用GPIB,，RS232，目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB,、IEEE1394和VXI?，F(xiàn)在,，技術(shù)者設(shè)法控制技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),，參與標(biāo)準(zhǔn)制訂是儀器開發(fā)的基礎(chǔ)研究工作之一。
我國儀器科技的發(fā)展現(xiàn)狀
(1)由于長期習(xí)慣于仿制國外產(chǎn)品,，我國的儀器儀表工業(yè)缺乏創(chuàng)新能力,，跟不上科學(xué)研究和工程建設(shè)的需要。
(2)我國儀器科學(xué)與技術(shù)研究領(lǐng)域積累了大量科研成果，許多成果處于較高水平,，有待篩選,、提高和轉(zhuǎn)化，但產(chǎn)業(yè)化程度很低,，沒有形成具有競爭力的完整產(chǎn)業(yè),。
未來發(fā)展趨勢
1．發(fā)展方向與學(xué)科前沿
(1)配合數(shù)控設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新(如主軸速度，精度創(chuàng)成) 數(shù)控設(shè)備的主要誤差來源可分為幾何誤差（共有21項）和熱誤差,。對于重復(fù)出現(xiàn)的系統(tǒng)誤差,，可采用軟件修正；對于隨機誤差較大的情況,，要采用實時修正方法,。對于熱誤差，一般要通過溫度測量進行修正,。我國機床行業(yè)市場同時又大量進口國外設(shè)備的原因之一就是因為這方面的技術(shù)沒有得到推廣應(yīng)用,。為此，需要高速多通道激光干涉儀：其測量速度達60m/min以上,，采樣速度達5000次/sec以上,，以適應(yīng)熱誤差和幾何誤差測量的需要?？諝庹凵渎蕦崟r測量應(yīng)達到2×10的-7次方水平,，其測量結(jié)果和長度測量結(jié)果可同步輸入計算機。
(2)運行和制造過程的監(jiān)控和在線檢測技術(shù) 綜合運用圖像,、頻譜,、光譜、光纖以及其它光與物質(zhì)相互作用原理的傳感器具有非接觸,、高靈敏度,、高柔性、應(yīng)用范圍廣的優(yōu)點,。在這個領(lǐng)域綜合創(chuàng)新的天地十分廣闊,，如振動、粗糙度,、污染物,、含水量、加工尺寸及相互位置等,。
(3)配合信息產(chǎn)業(yè)和生產(chǎn)科學(xué)的技術(shù)創(chuàng)新 為了在開放環(huán)境下求得生存空間,，沒有自主創(chuàng)新技術(shù)是沒有出路的。因此應(yīng)該根據(jù)有有技術(shù)含量,、有市場等原則選擇一些項目予以支持,。根據(jù)當(dāng)前發(fā)展現(xiàn)狀,，信息、生命醫(yī)學(xué),、環(huán)保,、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域需要的產(chǎn)品應(yīng)給予優(yōu)先支持。如醫(yī)學(xué)中介入治療的精密儀器設(shè)備,、電子工業(yè)中的超分辨光刻和清潔方法和機理研究等,。
2．優(yōu)先領(lǐng)域
在基礎(chǔ)研究的初期，對于能否有突破性進展是很難預(yù)測的,。但是,，當(dāng)已經(jīng)取得突破性進展時，則需要有一個轉(zhuǎn)化機制以進入市場,。
納米溯源技術(shù)和系統(tǒng),。
介入安裝和制造的坐標(biāo)跟蹤測量系統(tǒng)。
關(guān)鍵理論和技術(shù)：超半球反射器(n=2或在機構(gòu)上創(chuàng)新),，快速,、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測角系統(tǒng)(0.2″～0.5″),，通用信號處理系統(tǒng)(工作頻率5兆),，無導(dǎo)軌半導(dǎo)體激光測量系統(tǒng)(分辨率1μm)，熱變形仿真,，力變形仿真,。 這些內(nèi)容不局限于一種技術(shù)方案，而是幾種不同技術(shù)方案中概括出來的共同點,。如采用無導(dǎo)軌干涉儀,，對跟蹤系統(tǒng)的要求可以降低；采用二維精密跟蹤測角系統(tǒng)在1M3測量范圍內(nèi)可以得到高精度,；有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度,。在現(xiàn)場進行介入制造和裝配不能等待很長時間，力和熱變形的補償是必須的而且需要足夠快,，現(xiàn)在的技術(shù)還有相當(dāng)大的差距,，所以這些進展是關(guān)鍵性的。
應(yīng)用范圍：新型并行機構(gòu)機床的鑒定,，飛機裝配型架的鑒定,，大型設(shè)備安裝，用于生物芯片精密機器人校準(zhǔn)等,。
非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡 航空航天行業(yè)對此已經(jīng)提出迫切要求,，這是今后坐標(biāo)測量機發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測頭已*被國外所壟斷,，非接觸測頭還沒有發(fā)展成熟,，我們有參與競爭的機遇,。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制,，難以有突破性進展,，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率,。
計算機輔助測量理論
信號處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化,、模塊化、兼容和集成,。例如,，目前多數(shù)采用ISA總線、IEEE488口,，今后計算機可能取消ISA總線,，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應(yīng)用。過去,，我國生產(chǎn)的儀器滿足于數(shù)字顯示,，沒有數(shù)據(jù)交換接口，難以進入市場,。國外生產(chǎn)的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口,。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI,。在此轉(zhuǎn)折期為我們提供了機遇,。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數(shù)量級，對于干涉信號處理顯得太低,，可以采取聯(lián)合互補的方法形成模塊系列,，同時降低成本，從總體上提高研發(fā)工作的效率,。根據(jù)已有基礎(chǔ),，發(fā)展特長，有利于克服重復(fù)研究,。
新器件,，新材料
過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統(tǒng),，忽視材料和器件的趨向,。新的突破點可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測器,。目前探測器的響應(yīng)頻率只有10的9次方,，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用,，適應(yīng)探測器的不足(如果探測器的響應(yīng)果真能超過光頻,，干涉儀也就沒有用了),。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破,。
(6)半導(dǎo)體激光器計量特性的研究和創(chuàng)新 半導(dǎo)體激光器用于計量需要解決很多問題(如線寬,、定標(biāo)、變頻等),。但如果解決了諸多問題以后,，半導(dǎo)體激光系統(tǒng)比氣體激光系統(tǒng)更復(fù)雜，就不會有競爭力,。有些問題在物理層面上也沒有完*,。例如半導(dǎo)體激光器如果能形成雙頻，無疑是一種十分重要的特性,，如果既能掃頻又有兩個相近的頻率掃描,，就會成為一種新的無導(dǎo)軌測量工具。