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原位激光拉曼光譜氣體分析儀,，多組分氣體實時監(jiān)測，助力工業(yè)安全高效運行
2025/05/29
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四方儀器始終專注于氣體分析儀領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)與創(chuàng)新,，針對薄膜沉積設(shè)備清潔終點檢測需求，推出SiF4紅外氣體傳感器,。其基于公司自主知識產(chǎn)權(quán)的雙光束紅外（NDIR）技術(shù),，精確測量半導(dǎo)體應(yīng)?中微量特種?體的紅外光譜吸收，其零點漂移低,、重復(fù)性好,，確保每次清洗終點一致。測量穩(wěn)定性高（準(zhǔn)確度≤±1.0% F.S.）,，響應(yīng)速度快（響應(yīng)時間T90≤2秒）,，實時監(jiān)測氣體濃度變化；原位設(shè)計,，結(jié)構(gòu)緊湊，采用耐腐蝕材料,，便于集成與維護(hù),；支持模擬/數(shù)字通信，靈活適配各類系統(tǒng),。實際測試中,，其成功實現(xiàn)清潔終點的精準(zhǔn)控制，助力CVD設(shè)備技術(shù)升級,。
