在線質(zhì)譜氣體分析系統(tǒng)

BSD-MASS 在線質(zhì)譜氣體分析系統(tǒng)（美國英?？?INFICON）
Oline Mass spectrometer Gas Analyzer

四極桿質(zhì)譜：德國英?？担↖NFICON）在線質(zhì)譜（原產(chǎn)地：美國，提供原產(chǎn)地證明和原廠校驗證書）,；

質(zhì)譜檢測器：法拉第杯Faraday Cup (FC)和電子倍增器Electron Multiplier (EM),；

質(zhì)量數(shù)：默認(rèn)1-100amu；選配1-200amu或1-300amu,；

燈絲：鍍銥燈絲,，2套，一用一備,，軟件切換；

采樣壓力：默認(rèn)100±10kpa,，其它采樣壓力需定制,；

氣體采樣流量：默認(rèn)5SCCM，低可0.2SCCM的超微采樣量,；

響應(yīng)速度：可在低＜5SCCM的微流量采樣量下,，仍然保持超快速的響應(yīng)，響應(yīng)時間＜1秒,；（脫離采樣量的響應(yīng)時間沒有價值）

分辨率：＜0.5ppm（40amu）,；

掃描速度：高可達1.8毫秒/amu；

渦輪分子泵：愛德華,，抽速85L/s,，極限真空1*10E-12mbar；

干泵：渦旋干泵,，抽速20L/S,，極限真空1*10E-1mbar；

分流系統(tǒng)：具有,，高精度分流系統(tǒng)是快速靈敏響應(yīng)速度的保證,。

質(zhì)譜腔體加熱烘烤：具有，烘烤溫度150℃,；

其它功能：

零焊縫真空質(zhì)譜腔體技術(shù)（將傳統(tǒng)的4焊縫降低到0焊縫）,；

分子泵高真空大流導(dǎo)MAX接口技術(shù)（將流導(dǎo)面積增加3倍以上，流導(dǎo)長度縮短5倍以上）,，從而獲得極限靈敏度,；

分子泵電流電壓監(jiān)測，質(zhì)譜腔體溫度監(jiān)測,；

采樣管線防蒸汽凝結(jié)技術(shù),；采樣口防堵技術(shù),；

從左右：英福康中國華北區(qū)經(jīng)理,，貝士德儀器總工,，英福康美國工廠傳感器部門經(jīng)理,、質(zhì)譜部門經(jīng)理

技術(shù)交流

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