導(dǎo)致真空泵極限壓力不達(dá)標(biāo)導(dǎo)致運(yùn)轉(zhuǎn)不正常的原因有很多,，可能由外漏,、內(nèi)漏,、油孔堵塞,、泵油質(zhì)量不良或污染變質(zhì),、有水汽等可凝性物質(zhì),、儀器儀表失真等引起,。 

在真空泵維修中遇到的情況是外漏較多時(shí),，排氣口可看到白色蒸汽,。油標(biāo)處有較多氣泡,，手在排氣口上可感到排氣壓力。低級(jí)排氣閥處油面有較多氣泡,。功率會(huì)有所增加,。這時(shí)，首先應(yīng)檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關(guān)好,。由于新泵出廠每臺(tái)都在泵口測(cè)極限壓力,，所以如有外漏現(xiàn)象，應(yīng)對(duì)泵口及管道,、閥門,、容器逐一檢查。外軸封失效,、油杯無(wú)油,、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。

內(nèi)漏可由泵內(nèi)的運(yùn)動(dòng)間隙,、排氣閥座平面,、排氣閥的密封面、內(nèi)軸封,、泵蓋平面,、進(jìn)氣管,、氣鎮(zhèn)閥密封件等引起。磨損,、腐蝕,、咬合會(huì)使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙加大。油孔阻塞時(shí),，打開加油孔聽,，泵的噪聲會(huì)較輕，在油箱密封良好的情況下,，如果手在排氣口上有被吸的感覺,，排氣閥可能失效。  

如果真空泵油清潔,，長(zhǎng)期存放未用,，可開氣鎮(zhèn)閥凈化泵內(nèi)水汽。若無(wú)效,，要檢杏儀表,。若泵油發(fā)黃發(fā)白已乳化，可全開氣鎮(zhèn),，調(diào)大氣鎮(zhèn)量?jī)艋\(yùn)轉(zhuǎn),，必要時(shí)可在泵口放入適量氣體運(yùn)轉(zhuǎn)，可加快凈化過程,。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體,，要及時(shí)換油，必要時(shí)請(qǐng)洗油箱,。有些泵，在級(jí)間氣道里會(huì)沉積泵液,，為取得好的換油效果,，要設(shè)法把沉積泵液排出。

真空泵極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計(jì)測(cè)量的,。用經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計(jì)等全壓力計(jì)測(cè)量時(shí),，測(cè)得值會(huì)增加。注意熱偶真空計(jì)的規(guī)管要配對(duì)校準(zhǔn),。建議備用一只同時(shí)校準(zhǔn)的規(guī)管,，以備懷疑規(guī)管污染失真時(shí)進(jìn)行對(duì)比。極限壓力升高會(huì)使高真空時(shí)段的抽氣效率下降,，也會(huì)使極限全壓力升高,。可以參照上述介紹來(lái)判斷,、檢查,、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障,。