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德國IFM易福門電容式傳感器由兩個絕緣的同軸圓柱極板內(nèi)電極和外電極組成
點擊次數(shù):298 發(fā)布時間:2023-10-16
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德國IFM易福門電容式傳感器由兩個絕緣的同軸圓柱極板內(nèi)電極和外電極組成
將被測物理量或機械量轉(zhuǎn)換成為電容變化量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置,,實際上就是一個具有可變參數(shù)的電容器,。IFM電容式傳感器廣泛用于位移、角度,、振動,、速度、壓力,、成分分析,、介質(zhì)特性等方面的測量。的是平行板型電容器或圓筒型電容器,。
年代末以來,,隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了與微型測量儀表封裝在一起的IFM電容式傳感器。這種新型的傳感器能使分布電容的影響大為減小,,使其固有的缺點得到克服,。IFM電容式傳感器是一種用途極廣,很有發(fā)展?jié)摿Φ膫鞲衅鳌?/p>
典型的IFM電容式傳感器由上下電極,、絕緣體和襯底構(gòu)成,。當(dāng)薄膜受壓力作用時,薄膜會發(fā)生一定的變形,,因此,,上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化,從而使電容發(fā)生變化,。但電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線性關(guān)系,,因此,要用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償,。
電容式傳感器也常常被人們稱為電容式物位計,,電容式物位計的電容檢測元件是根據(jù)圓筒形電容器原理進行工作的,電容器由兩個絕緣的同軸圓柱極板內(nèi)電極和外電極組成,,在兩筒之間充以介電常數(shù)為ε的電解質(zhì)時,,兩圓筒間的電容量為
式中L為兩筒相互重合部分的長度;D為外筒電極的直徑,;d為內(nèi)筒電極的直徑,;e為中間介質(zhì)的電介常數(shù)。在實際測量中D,、d,、e是基本不變的,故測得C即可知道液位的高低,,這也是IFM電容式傳感器具有使用方便,,結(jié)構(gòu)簡單和靈敏度高,價格便宜等特點的原因之一。
電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件,,由于被測量變化將導(dǎo)致電容器電容量變化,,通過測量電路,可把電容量的變化轉(zhuǎn)換為電信號輸出,。測知電信號的大小,,可判斷被測量的大小。這就是IFM電容式傳感器的基本工作原理,。
根據(jù)傳感器的工作原理可把IFM電容式傳感器分為變極距型,、變面積型和變介質(zhì)型三種類型。
根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)可把IFM電容式傳感器分為三種類型的結(jié)構(gòu)形式,。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種,,每一種又依據(jù)傳感器極板形狀分成平(圓形)板形和圓柱(圓筒)形,雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀,,但一般很少用,。其中差動式一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器,它具有靈敏度高,、線性范圍寬,、穩(wěn)定性高等特點。
溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),,這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,,又因本身發(fā)熱極小,影響穩(wěn)定性甚微,。而電阻傳感器有銅損,,易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。
結(jié)構(gòu)簡單
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,,易于制造和保證高的精度,,可以做得非常小巧,以實現(xiàn)某些特殊的測量,;能工作在高溫,,強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中,可以承受很大的溫度變化,,承受高壓力,高沖擊,,過載等,;能測量超高溫和低壓差,也能對帶磁工作進行測量,。
動態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N),,需要的作用能量極小,又由于它的可動部分可以做得很小很薄,即質(zhì)量很輕,,因此其固有頻率很高,,動態(tài)響應(yīng)時間短,能在幾兆赫茲的頻率下工作,,特別適用于動態(tài)測量,。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電,因此系統(tǒng)工作頻率高,。它可用于測量高速變化的參數(shù),。
可以非接觸測量且靈敏度高
可非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等,。當(dāng)采用非接觸測量時,,IFM電容式傳感器具有平均效應(yīng),可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響,。
電容式傳感器除了上述的優(yōu)點外,,還因其帶電極板間的靜電引力很小,所需輸入力和輸入能量極小,,因而可測極低的壓力,、力和很小的加速度、位移等,,可以做得很靈敏,,分辨力高,能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移,。由于其空氣等介質(zhì)損耗小,,采用差動結(jié)構(gòu)并接成電橋式時產(chǎn)生的零殘極小,因此允許電路進行高倍率放大,,使儀器具有很高的靈敏度,。
①輸出阻抗高,負載能力差,。
無論何種類型的IFM電容式傳感器,,受電極板幾何尺寸的限制,其電容量都很小,,一般為幾十到幾百皮法(pF),,因此使IFM電容式傳感器的輸出阻抗很高,可達 ~ Ω,。由于輸出阻抗很高,,因而輸出功率小,負載能力差,,易受外界干擾影響而產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象,,嚴重時甚至無法工作。
②寄生電容影響大。
電容式傳感器的初始電容量很小,,而連接傳感器和電子線路的引線電纜電容,、電子線路的雜散電容以及電容極板與周圍導(dǎo)體構(gòu)成的電容等寄生電容卻較大。寄生電容的存在不但降低了測量靈敏度,,而且引起非線性輸出,。由于寄生電容是隨機變化的.因而使傳感器處于不穩(wěn)定的工作狀態(tài).影響測量準(zhǔn)確度。
電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單,、耐高溫,、耐輻射、分辨率高,、動態(tài)響應(yīng)特性好等優(yōu)點,,廣泛用于壓力、位移,、加速度,、厚度、振動,、液位等測量中,。但在使用中要注意以下幾個方面對測量結(jié)果的影響:①減小環(huán)境溫度、濕度變化(可能引起某些介質(zhì)的介電常數(shù)或極板的幾何尺寸,、相對位置發(fā)生變化),;②減小邊緣效應(yīng);③減少寄生電容,;④使用屏蔽電極并接地(對敏感電極的電場起保護作用,,與外電場隔離);⑤注意漏電阻,、激勵頻率和極板支架材料的絕緣性,。