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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

ProRGA-7000是聚光科技基于質(zhì)譜分析技術(shù)平臺(tái)開發(fā)的一款高性能殘余氣體分析儀,，用于檢測(cè)特定真空區(qū)域內(nèi)關(guān)鍵氣體分壓,，適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場(chǎng)合。具有毫秒級(jí)響應(yīng)速度和ppb級(jí)的靈敏度,，非常適合檢測(cè)真空泄露狀態(tài),，如電池、半導(dǎo)體,、凍干機(jī)等真空腔體內(nèi)部特定過程相關(guān)氣體的污染水平或動(dòng)態(tài)波動(dòng),，并及時(shí)提醒用戶可能產(chǎn)生的潛在風(fēng)險(xiǎn)，提升產(chǎn)品良品率,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

檢測(cè)效率高：支持多個(gè)標(biāo)記物同時(shí)檢測(cè),，單組分檢測(cè)事件小于0.5s,。

產(chǎn)品自動(dòng)化：具備自動(dòng)校準(zhǔn)功能，消除傳感器云頂飄逸,，確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性

高精度：采用高精度四極桿質(zhì)量分析器,，適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場(chǎng)合下ppb級(jí)殘余氣體分析。

應(yīng)用領(lǐng)域

電池,、半導(dǎo)體,、凍干機(jī)等行業(yè)