近期，聚光科技的半導(dǎo)體專用ICP-MS（電感耦合等離子體質(zhì)譜儀）已實(shí)現(xiàn)銷售,，同時(shí)部分產(chǎn)品（科學(xué)儀器）正在集成電路制造頭部企業(yè)測試中,，尚未正式簽署合同；值得注意的是,，公司研發(fā)的ICP-MS等質(zhì)譜儀屬于美國商務(wù)部對實(shí)體名單企業(yè)進(jìn)行出口管制的設(shè)備,。
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
公司于2015年分拆自身質(zhì)譜業(yè)務(wù)成立子公司譜育科技,。譜育科技已掌握多個(gè)質(zhì)譜分析技術(shù)平臺，針對半導(dǎo)體行業(yè)檢測需求,，推出一系列高精度檢測儀器及在線監(jiān)測系統(tǒng),，助力行業(yè)突破“卡脖子"關(guān)鍵技術(shù)。
半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程分為晶圓加工,、氧化,、光刻、刻蝕等八大步驟,，涉及硅片,、電子氣體、光掩模,、光刻膠配套化學(xué)品等多類制造材料,。統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，半導(dǎo)體元件制造業(yè)中約50%的產(chǎn)率損失是由產(chǎn)品及材料制造流程中的微量雜質(zhì)污染導(dǎo)致,。
ITRS（國際半導(dǎo)體技術(shù)線路圖）提出,，在超純水、電子化學(xué)品,、電子特氣,、晶圓制造環(huán)境等各個(gè)環(huán)節(jié)，均需進(jìn)行嚴(yán)格的環(huán)境污染管控及污染物檢測,；如何將污染降低到最小是半導(dǎo)體制程過程提升良率的難點(diǎn),。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涉及的化學(xué)品種類繁多、測試元素種類眾多且檢測精度要求ppt量級,，都對設(shè)備性能及操作人員的污染控制技術(shù)提出苛刻要求,。另外，隨著半導(dǎo)體器件的尺寸不斷縮小,、芯片中元件的密度不斷增加,，生產(chǎn)過程中的污染控制也愈發(fā)嚴(yán)格。
ICP-MS技術(shù)尤其四極桿型ICP-MS技術(shù)具備極低的檢測限和快速多元素測定功能,，已逐漸成為半導(dǎo)體行業(yè)污染分析實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù),，在硅片表面雜質(zhì)分析、超純水,、超純試劑分析,、高純氣體分析等多個(gè)方面應(yīng)用廣泛。目前,，半導(dǎo)體行業(yè)所使用的ICP-MS基本被美國及日本廠商壟斷,。
譜育科技深耕科學(xué)儀器創(chuàng)新，在質(zhì)譜領(lǐng)域積累了離子阱,、四極桿,、三重四極桿,、飛行時(shí)間等多個(gè)質(zhì)譜分析技術(shù)平臺。公司已建立半導(dǎo)體潔凈實(shí)驗(yàn)室（100級）,，在2021年相繼推出了冷模式ICPMS以及三重四極桿ICPMS/MS,兩款設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)亞ppt級別的超痕量金屬檢測,，打破了海外廠商對超痕量金屬測試設(shè)備的壟斷。此外,，公司針對14nm,、28nm等制程半導(dǎo)體企業(yè)開發(fā)的實(shí)時(shí)監(jiān)測系統(tǒng)得到了各級集成電路基金的支持，其中一部分產(chǎn)品已經(jīng)完成研發(fā),，處于樣板點(diǎn)建立階段,。
譜育科技的質(zhì)譜產(chǎn)品家族
基于譜育科技的研發(fā)實(shí)力，聚光科技于2020年成立半導(dǎo)體事業(yè)部,，整合自身質(zhì)譜,、光譜、色譜等高精密檢測分析技術(shù),，以及各類進(jìn)樣技術(shù)和軟件算法等綜合能力,，推出一系列解決方案，覆蓋了痕量/超痕量金屬污染檢測,、潔凈室AMC在線監(jiān)測,、蝕刻劑近紅外分析、特氣監(jiān)測與預(yù)警等半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈精密檢測分析領(lǐng)域,。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
13
立即詢價(jià)
您提交后,，專屬客服將第一時(shí)間為您服務(wù)