稀有氣體質(zhì)譜儀可以用于稀有惰性氣體Ar、He,、H2,、SF6及H2S等氣體的示蹤分析，可以進(jìn)行Ar,、He,、H及其同位素的體積濃度的測(cè)定和和示蹤分析。
目前，本儀器適用于煤巖動(dòng)力災(zāi)害孕育及發(fā)生過(guò)程中放射性元素的析出,、衰變的監(jiān)測(cè),，同時(shí)也可服務(wù)于采礦、地質(zhì),、環(huán)境等學(xué)科,，可進(jìn)行地質(zhì)年代測(cè)定（如構(gòu)造變形、火山噴發(fā),、變質(zhì)作用,、沉積作用、巖體冷卻,、山體抬升,、盆地沉降）,、地質(zhì)及火山事件確定,，以及海水、有機(jī)物及巖體中惰性氣體He等的分析,。
稀有氣體質(zhì)譜儀包括：氣體進(jìn)樣系統(tǒng),、質(zhì)譜分析系統(tǒng)、校準(zhǔn)系統(tǒng),、控制系統(tǒng)和軟件系統(tǒng),、外設(shè)等模塊組成。
主要特點(diǎn)：
1,、稀有氣體質(zhì)譜儀可同時(shí)測(cè)量氦同位素,，無(wú)需跳峰掃描，減少了分析時(shí)間,，獲得了更高的精度和產(chǎn)出效率,；
2、豐度靈敏度：由于HELIX SFT的設(shè)計(jì),，質(zhì)量4對(duì)質(zhì)量3的貢獻(xiàn)小于1ppb,；
3、體積：HELIX SFT的內(nèi)部體積約1400cc,，這是當(dāng)前技術(shù)的重要提升,；
4、分辨率：低質(zhì)量數(shù)接收器,，通常用來(lái)測(cè)定3He,，其分辨率大于700，這保證了3He能夠和兩個(gè)干擾峰HD和H分開(kāi),；
5,、放大器擁有不同的動(dòng)態(tài)范圍范圍使大部分分析都能在長(zhǎng)壽命的法拉第接收器上進(jìn)行。
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