雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀是直接分析導(dǎo)電材料中的固態(tài)痕量元素的較佳工具,,能在一次分析過程中測定基體元素(~100%),、主體元素(%)、微量元素(ppm),、痕量元素(ppb)和超痕量元素(ppt),。在元素定量分析上,具有以下幾個優(yōu)點(diǎn):

1,、它采用直接取樣技術(shù),,需測試的導(dǎo)電樣品經(jīng)過簡單的機(jī)械處理和表面清潔,無需要樣品轉(zhuǎn)化為溶液,,即可進(jìn)行元素定量分析,,同傳統(tǒng)的酸溶解測試方法相比較,二次污染小,。因此,在測試分析定量上準(zhǔn)確性更高。
2,、雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀將高效率輝光放電離子源與高分辨率質(zhì)譜結(jié)合,,具備高的分辨率和靈敏度、極低的檢測限,、良好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性和一次74種元素分析足以滿足太陽能級硅材料分析的要求,。該儀器同上海硅酸鹽研究所及目前規(guī)模較大的埃文思分析集團(tuán)采用相同的測試標(biāo)準(zhǔn)和測試方法,并且具有更低的檢測限,,因此測試結(jié)果的精確度上具有一定的優(yōu)勢,。日本三津和化學(xué)藥品株式會社使用電感耦合等離子體--原子發(fā)射光譜法(ICP-AES),樣品需經(jīng)特定的溶解方法溶解,,二次污染較大,,并且B的檢出限為5ppm、最小的檢測限如Ag,、Ba,、Co等為1ppm,其余大部分元素檢測限在5-10ppm間,。
3,、本產(chǎn)品是硅行業(yè)乃至半導(dǎo)體行業(yè)分析材料純度通用手段,它能精確定量分析太陽能級硅材料中影響其性能的關(guān)鍵雜質(zhì),,是分析太陽能級硅材料的重要和可靠的手段,,比如B、P,、Fe,。能測試的元素大部分在亞ppb級。
目前,,雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀是太陽能級硅材料分析測試平臺的重要儀器之一,。
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