SEMICON CHINA
SEMICON CHINA 2021將于3月17日-19日在上海新guo際博覽中心如期舉行。作為中國的半導(dǎo)體行業(yè)盛事,，囊括當(dāng)今世界上半導(dǎo)體制造領(lǐng)域主要的設(shè)備及材料廠商，該展會將為業(yè)內(nèi)人士提供高效交流,、洞悉行業(yè)動態(tài)的有效平臺,。
在此，賽默飛世爾科技誠邀您蒞臨我們的展位（展位號：N5135）,，觀摩我們的指尖實驗室,，與我們的技術(shù)專家共同探討失效分析解決方案。我們將展示針對半導(dǎo)體制造商和電子行業(yè)的先分析流程,，助您加快產(chǎn)品缺陷識別和研發(fā)進(jìn)程,，實現(xiàn)過程監(jiān)控、良率提升,，及時搶占市場,！
賽默飛半導(dǎo)體雜質(zhì)檢測
quan方位解決方案
Dionex ICS-6000 HPIC高壓離子色譜系統(tǒng)
廣泛應(yīng)用于離線和在線監(jiān)控fab AMC，超純水中陰,、陽離子的監(jiān)控以及高純試劑（酸,、堿和有機溶劑）中陰、陽離子分析。通過zhuan利的在線電解淋洗液發(fā)生器實現(xiàn)無需手動配置淋洗液,，實現(xiàn)操作更簡單,，測試結(jié)果更穩(wěn)定。
iCAP™ TQ ICP-MS
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)金屬離子痕量分析檢測,。標(biāo)配4路碰撞反應(yīng)氣體,，*消除多原子離子干擾；標(biāo)配有機加氧裝置,，可直接分析半導(dǎo)體行業(yè)的有機試劑樣品,。開放的硬件設(shè)計，使得ICPMS操作更簡單,，維護(hù)更方便,。
Element XR HR-ICP-MS
高分辨電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
高分辨率可達(dá)10000，可區(qū)分質(zhì)量數(shù)小于0.01 amu的質(zhì)譜干擾,，真正實現(xiàn)無干擾分析,，并減少復(fù)雜的樣品制備和方法開發(fā)過程。應(yīng)用：高純試劑,、高純材料,、高純氣體中痕量元素準(zhǔn)確定量。
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Element GD Plus GD-MS
輝光放電質(zhì)譜儀
高純固體樣品直接分析,，*減少樣品處理步驟,，降低沾污風(fēng)險。
熱門應(yīng)用：
賽默飛ELEMENT GD Plus GD-MS檢測高純Si中的Fe,、Cu,、Ti的深度分布
Fe、Cu,、Ti（<10 ppbw）是對太陽能電池性能損害最大的金屬雜質(zhì)：
Fe,、Cu在Si中會快速擴(kuò)散，屬于間隙雜質(zhì),；
Ti擴(kuò)散速度慢,，會占據(jù)Si晶格的取代位點（類似B、P摻雜元素）,。
賽默飛ELEMENT GD Plus GD-MS半導(dǎo)體檢測高純硅,，高純碳化硅，砷化鎵等,，雜質(zhì)含量的檢出限可達(dá)到ppb及ppb以下,。高純靶材中痕量雜質(zhì)的檢測及純度鑒定，如銅,，鈦,，鋁,，鉬及ITO等靶材，可實現(xiàn)6N+純度的鑒定,。高純石墨及石墨粉的雜質(zhì)含量檢測及純度鑒定,，可實現(xiàn)6N+純度的鑒定。
提前注冊享好禮
現(xiàn)在掃描下方二維碼,，或者點擊閱讀原文,，在線填寫注冊表單，3月17日-19日蒞臨賽默飛展臺,，即可領(lǐng)取一個32G高速移動U盤?，F(xiàn)場掃碼登記，更有機會贏取無線充電器,！
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