在上篇文章中，我們主要介紹了半導(dǎo)體行業(yè)中關(guān)于芯片生產(chǎn)需要嚴(yán)格關(guān)注空氣與純水的質(zhì)量,。然而除了環(huán)境空氣與超純水,，還有一部分是需要關(guān)注的就是化學(xué)試劑。
在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中需要用到的試劑是電子級(jí)試劑,，要求電性雜質(zhì)含量極低,，才可以控制產(chǎn)品終的質(zhì)量。而有些半導(dǎo)體材料中甚至?xí)藶榧尤胍恍┨囟ǖ某煞?，從而其電?dǎo)性能才具有可控性,，因此試劑中雜質(zhì)離子的含量，就變得尤為重要,。
那么涉及到半導(dǎo)體的試劑有哪些呢,？
他們的作用分別是什么呢？
我們大致可以將其分為三類：酸（如氫氟酸,、硝酸,、硫酸等）、堿（氫氧化鉀,、氫氧化鈉,、氫氧化銨等）、溶劑（異丙醇,、丙酮等）,，本篇主要給大家介紹酸。
半導(dǎo)體中常用的酸
半導(dǎo)體設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）對(duì)這有各種明確的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定（見(jiàn)下表,，單位為ppm,，以高級(jí)別算）,。
那么對(duì)于這些高純度的試劑中的雜質(zhì)離子，我們?cè)趺礃尤y(cè)試呢,？測(cè)試過(guò)程中會(huì)遇到什么樣的問(wèn)題呢,？今天我們首先針對(duì)不同種類的酸，且看賽默飛離子色譜為大家提出的一個(gè)個(gè)的解決方案,！
高純?cè)噭?mdash;—氫氟酸,、磷酸中的雜質(zhì)
利用這兩種酸均為弱酸的特點(diǎn)，因此可采用同一方法——柱切換進(jìn)行分析,，相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)分別為：
SEMI C28 氫氟酸中的陰離子,、GBT 31369-2015；
SEMI C36 濃磷酸中的陰離子,、GBT 28159-2011,。
氫氟酸（HF）、磷酸（H3PO4）,、乙酸（CH3COOH）均為弱酸,，利用排斥柱Donnan原理，弱酸及有機(jī)酸在排斥柱上有保留而無(wú)機(jī)陰離子沒(méi)有保留的特點(diǎn),，我們采取柱切換的方式可以將以弱酸為基體的主成分切換掉,，同時(shí)無(wú)機(jī)陰離子進(jìn)入到濃縮柱中進(jìn)行富集。再經(jīng)過(guò)高容量色譜柱進(jìn)行分離,，可以準(zhǔn)確測(cè)定氫氟酸與濃磷酸中無(wú)機(jī)陰離子含量,，避免了高濃度基質(zhì)的干擾，且檢出限可達(dá)10ppb,。
氫氟酸中常見(jiàn)陰離子譜圖
濃磷酸的離子排斥色譜圖
（1. 強(qiáng)酸離子,；2. 磷酸根）
濃磷酸中常見(jiàn)陰離子譜圖
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高純?cè)噭?mdash;—濃硝酸中陰離子
弱酸的方案我們得到了解決，那么無(wú)機(jī)強(qiáng)酸中的陰離子怎么去解決呢,？這又面臨著新的挑戰(zhàn),，硝酸是無(wú)機(jī)強(qiáng)酸，柱切換的方式已然不可用,，那么這次挑戰(zhàn)得到解決有賴于我們賽默飛*的高容量色譜柱,，高容量色譜柱可以保證即使在出現(xiàn)高基體的情況下，也不會(huì)導(dǎo)致色譜柱飽和且不會(huì)影響痕量離子的分離度,，稀釋50倍后,，濃度差可達(dá)十萬(wàn)倍，進(jìn)樣分析譜圖如下,，檢出限可達(dá)1ppm,。
75%硝酸稀釋50倍進(jìn)樣
高純?cè)噭?mdash;—濃硫酸中雜質(zhì)陰離子
恭喜飛飛又完成了一項(xiàng)挑戰(zhàn)，解決了濃硝酸中痕量陰離子的問(wèn)題，可是挑戰(zhàn)還有哦,，濃硫酸的問(wèn)題又該如何解決呢,？濃硫酸是二元強(qiáng)酸，且保留很強(qiáng),，那么賽默飛有那么多款色譜柱,，總有一款適合你（濃硫酸），選擇合適的高容量色譜柱,，使得硫酸根離子既不會(huì)飽和色譜柱,，也可以與待測(cè)離子有較好的分離度，也可以做到直接稀釋進(jìn)樣哦,。
硫酸稀釋后測(cè)試后譜圖
硫酸稀釋后加標(biāo)譜圖（分別加標(biāo)20、30,、50ppb）
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高純?cè)噭?mdash;—鹽酸中雜質(zhì)陰離子
強(qiáng)酸體系中,，還有一員大將——濃鹽酸，高容量色譜柱依然是解決該方案的首要因素,，可以很好分離高基體中的痕量物質(zhì),，濃鹽酸稀釋200倍后可直接進(jìn)樣進(jìn)行分析，譜圖如下：
0.5% HCl及其加標(biāo)譜圖（50ppb）
這么多年以來(lái),，賽默飛離子色譜與半導(dǎo)體行業(yè)一起成長(zhǎng),，為各大半導(dǎo)體企業(yè)及其供應(yīng)鏈上下游行業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持與可靠的數(shù)據(jù)保證。下面附上可實(shí)現(xiàn)上述功能的離子色譜全明星陣容,。
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