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2020 · 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
2020年注定是不平凡的一年，不僅僅是新冠的肆虐,，也因?yàn)閲?guó)內(nèi)外貿(mào)易爭(zhēng)端加劇,，對(duì)某些中國(guó)企業(yè)是一大挑戰(zhàn)，同時(shí)也是一大機(jī)遇,，將刺激我國(guó)對(duì)于芯片等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重視,，同時(shí)賽默飛也將致力于幫助客戶解決當(dāng)中遇到的問題。
集成電路（Intergrated Circuit）又稱芯片,，是一種微型電子器件,，是把電路（包括半導(dǎo)體裝置、元件）小型化,、并制造在半導(dǎo)體晶圓表面上形成的具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu),。
在半導(dǎo)體行業(yè)中對(duì)離子的污染非常敏感
感
超過80%的制作工序都需要用到純水，對(duì)于不同級(jí)別的生產(chǎn)線而言,，對(duì)純水的質(zhì)量要求也不盡相同,，限度跨度從ppt—ppb。
ASTM D5127-13 Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
同時(shí)芯片的生產(chǎn)過程中會(huì)使用到很多試劑,，如硫酸,、氨水等，而這些試劑揮發(fā)到空氣中會(huì)對(duì)芯片造成晶體缺陷,、霧狀缺陷等,，因此：
監(jiān)控環(huán)境空氣和超純水中離子的含量是非常必要的
你知道嗎
那么大家知道，空氣中與超純水中的雜質(zhì)離子含量這么低,，通過什么手段實(shí)現(xiàn)檢測(cè)呢,？賽默飛離子色譜ICS-6000選配AM模塊通過大體積濃縮進(jìn)樣，可輕松實(shí)現(xiàn)如上要求,，*可以達(dá)到芯片生產(chǎn)過程中對(duì)環(huán)境與水的控制,。
ICS 6000雙系統(tǒng)，直接進(jìn)樣分析,，可同時(shí)在線檢測(cè)超純水中痕量（>50ppt）陰陽(yáng)離子,。
ICS 6000雙系統(tǒng)
直接進(jìn)樣流路圖
1配置AS-HV以后的ICS 6000
可實(shí)現(xiàn)大體積濃縮進(jìn)樣，從而進(jìn)一步提高靈敏度降低檢出限（<20ppt）,，通過大定量環(huán)進(jìn)樣品,，小定量環(huán)進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)品，也大大降低了痕量分析的操作門檻。
ICS 6000配備AS-HV
大小環(huán)進(jìn)樣流路圖
2可選配IC Pure在線純水機(jī)
在線制備離子色譜分析過程中所需超純水,，從而給淋洗液提供更純的水源,。
IC Pure在線純水機(jī)
3配備空氣采樣器
由真空泵以恒定流速抽取環(huán)境空氣，超純水吸收空氣中陰陽(yáng)離子后上離子色譜檢測(cè),。根據(jù)抽取時(shí)間與流速?gòu)亩?jì)算抽取空氣體積,，得出空氣中離子含量。
空氣采樣器
那么實(shí)際效果如何呢,？請(qǐng)看如下兩張譜圖：
常規(guī)陰離子譜圖（1-10ppt）
常規(guī)陽(yáng)離子譜圖（20ppt）
賽默飛離子色譜全流程解決方案
ICS 6000高壓離子色譜
ICS-6000高壓離子色譜是一款可實(shí)現(xiàn)陰陽(yáng)離子同時(shí)分析的高壓離子色譜系統(tǒng),，高壓梯度提供了高分離度與高重復(fù)性。同時(shí)配有賽默飛*耐高壓Viper管線,，*的力矩設(shè)計(jì),，無(wú)需輔助工具，手動(dòng)自如實(shí)現(xiàn)裝卸,，簡(jiǎn)單方便,。
耗材監(jiān)控識(shí)別功能
自動(dòng)識(shí)別并追蹤 IC 耗材的安裝時(shí)間、使用情況和性能指標(biāo),。其可防止耗材安裝錯(cuò)誤,，安排預(yù)防性維護(hù)時(shí)間，管理耗材使用情況,，可同時(shí)監(jiān)測(cè)多達(dá) 25 種不同耗材的 16 余項(xiàng)關(guān)鍵性能指標(biāo),。從而可以根據(jù)產(chǎn)品性能指標(biāo)和生產(chǎn)質(zhì)量保證數(shù)據(jù)驗(yàn)證耗材的性能,。
淋洗液自動(dòng)發(fā)生器
ICS-6000 配備RFIC-EG（淋洗液自動(dòng)發(fā)生器）,，淋洗液發(fā)生灌以的濃度電解生成高純度氫氧化鉀（KOH）或甲磺酸（MSA）淋洗液。該設(shè)備的淋洗液與再生液僅要求使用高純度去離子水即可,，從而實(shí)現(xiàn)零系統(tǒng)空白,。同時(shí)RFIC-EG 模塊可控制等度或梯度條件，提供*的方法重現(xiàn)性和準(zhǔn)確度,。
DC溫控
ICS-6000溫控系統(tǒng)分為上下兩部分且可單獨(dú)控溫,，上部分控制檢測(cè)單元，下部分控制進(jìn)樣閥與色譜柱,，溫度全部覆蓋,，穩(wěn)定性更佳。
ICS 6000 DC模塊
自 1975 年以來(lái),，我們一直致力于離子色譜（IC）技術(shù)的開發(fā)與創(chuàng)新,，包括儀器、化學(xué)分離,、抑制器和軟件,。作為業(yè)界，我們通過分享已知信息努力為您的實(shí)驗(yàn)室提供支持，充當(dāng)值得信賴的顧問,，并提供您所需要的服務(wù)和支持,。我們所做的一切支持并認(rèn)可您和您的使命，確保世界更健康,、更清潔,、更安全。
Thermo Scientific™ Dionex™ ICS-6000 離子色譜儀
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