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• 中心切割技術(shù)結(jié)合雙分析柱設(shè)計(jì),，實(shí)現(xiàn)主體組分放空， 雜質(zhì)氣體經(jīng)過(guò)二次分離,；

• 可實(shí)現(xiàn)低含量Ar, O2（<10 ppm, V）的基線分離,；

• 吹掃閥配合PDD檢測(cè)器滿足檢測(cè)限低至10-50 ppb（V） 范圍內(nèi)的雜質(zhì)分析。

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