LISICO 樂思科 3D光學(xué)干涉輪廓儀

LISICO 樂思科 3D光學(xué)干涉輪廓儀的優(yōu)勢：

降低三維納米顯微技術(shù)產(chǎn)品化的成本

擴(kuò)大技術(shù)的測量范圍

擁有獨(dú)立自主的核心技術(shù)

統(tǒng)一的核心技術(shù)平臺(tái),、針對不同的產(chǎn)業(yè),，不同的輔助軟件、輔助硬件配置,，系列檢測技術(shù)和系統(tǒng)

多年半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)

所有的關(guān)鍵硬件來自美國,、德國日本等

PI，納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon,，干涉物鏡

NI,，信號(hào)控制板和Labview64控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

原理：

干涉測量技術(shù):快速靈活、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響

應(yīng)用

1. 在太陽能產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用

激光開孔形貌圖,，薄膜太陽能電池技術(shù)

2. 在集成電路產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用

上海人和科學(xué)儀器有限公司（以下簡稱“人和公司"）歷經(jīng)三十年的發(fā)展，目前服務(wù)過的客戶已經(jīng)超過20000家,，眾多

企業(yè)皆已成為人和的忠實(shí)客戶,。人和公司從最初儀器設(shè)備以及售后服務(wù)的提供商，到現(xiàn)在引進(jìn)*的自動(dòng)化,、智能化,、

擁有物聯(lián)網(wǎng)的在線儀器和生產(chǎn)設(shè)備，為客戶量身定制整體解決方案，通過專業(yè),、細(xì)致和全面的技術(shù)服務(wù)實(shí)現(xiàn)“為客戶

創(chuàng)造更多價(jià)值"的承諾,。

人和公司始終聚焦行業(yè)痛點(diǎn)，在解決方案中不斷融入符合中國制造2025標(biāo)準(zhǔn),，具有自動(dòng)化,、智能化、數(shù)字化,、微型

化和模塊化帶物聯(lián)網(wǎng)的儀器設(shè)備,。讓客戶通過這些儀器設(shè)備實(shí)時(shí)獲取生產(chǎn)過程中的信息反饋，進(jìn)行綜合分析,，不斷

優(yōu)化生產(chǎn)工藝,，從而實(shí)現(xiàn)在提高產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，降低生產(chǎn)成本,。