測量顯微鏡,，歷是以的倍率把工件形狀放大以后,，通過與模板進行象面比對,，進行測量、檢查的顯微鏡,。為此,，與通常的觀察用顯微鏡不同,，它采用與輪廓投影儀相同的遠心光路系統(tǒng),，其物鏡倍率也很。
檢查的主要項目
(1)儀器安裝和使用,，應對周圍環(huán)境的安性進行檢查,，電源、電壓,、LED光源,、接地線等是否正確、牢固,，應符和要求,。
(2)儀器主要部件運動性能檢查：
儀器工作臺、縱,、橫滑板導軌,、測微器、顯微鏡臂架導軌升降,，測角度盤轉(zhuǎn)動等部件,，經(jīng)目力觀察和手動試驗，須確認結(jié)構(gòu)安裝可靠,，位置,，運轉(zhuǎn)性能應舒適完，無松動阻滯和急跳現(xiàn)象存在,。
(3)測角目鏡的檢查
a.測量顯微鏡測角目鏡零位的檢查：
b.測量顯微鏡測角目鏡十字線交點與其迥轉(zhuǎn)重合性的檢查;
注意事項
1,、密計量儀器的使用、維護是技術(shù)性較的工作,，對作人員應進行業(yè)技能培訓,，掌握要的作技能和建立要的工作檢查制度。
2,、對儀器要注意正確合理安排使用,。儀器的存放地點應避免灰塵、潮濕,、氣溫突變或含有酸堿性的氣體環(huán)境,。
3、儀器的光學部件有：目鏡,、物鏡,、玻璃工作臺等,，光學零件的表面油污灰塵清潔，可用脫脂棉花蘸以少許酒和乙醚混合液,，輕輕揩拭,，切勿將鏡片擦毛。
4,、儀器維護,、保養(yǎng)、調(diào)試,，未經(jīng)技術(shù)培訓不具備業(yè)技能的人員不得隨意拆卸調(diào)試和清洗加油,。若需修理調(diào)試，可向當?shù)厣袒蛑苯雍臀夜尽?/div>
5,、電源系統(tǒng)出現(xiàn)故障,，需先切斷電源，再進行檢查,。透射照明燈泡需要*換燈泡,，拆除底蓋，進行檢查*換,。
測量顯微鏡等密計量儀器都要注意保養(yǎng)和維護,。
近來隨著測量顯微鏡光學系統(tǒng)制作倍率的*加，也可以組合使用具有高倍率觀察,、微分干涉觀察,、簡易偏光觀察等功能的通用型光學頭。在高倍率觀察時,，還可以使用FA（輔助對焦）鏡筒進行高度測量,，可以通過縮小視在的景深，提高Z軸方向測量的重復度,。測量顯微鏡配上數(shù)碼相機,，還可以拍攝數(shù)碼相片。多種選配功能,，使得測量顯微鏡的應用越來越廣,。
