因瓦合金也可簡稱為 Invar,，即含有35.4%鎳的鐵合金,，常溫下具有很低的熱膨脹系數(shù)（-20℃~20℃之間，其平均值約1.6×10-6/℃）,，是精密儀器設備的結構材料,。

例如，在屏幕的生產制造流程中,，金屬掩膜版是OLED蒸鍍環(huán)節(jié)中的核心生產耗材,。因OLED生產過程中金屬掩膜版會存在較大的損耗，所以需要定期更換,，是OLED生產成本的重要組成,。目前，應用于AMOLED產品的金屬掩膜版主要包括開口掩膜版（CMM）和精細金屬掩膜版（FMM）兩種,。其中,，Open Mask（CMM）是由厚度40um-200um的Invar36材料加工而成，主要用于在蒸鍍腔體中蒸鍍傳輸層,、導電層材料,。Fine Metal Mask（FMM）由厚度20um-30um的Invar36材料加工而成，主要是用于在蒸鍍腔體中蒸鍍有機發(fā)光材料,。

因瓦合金最主要的特點就是低膨脹系數(shù),，為了應對不同的應用環(huán)境，因瓦合金被制備成不同的形狀,，常規(guī)圓柱形樣品比較容易進行測試,，面對薄片狀樣品如何進行測試呢？在本文中主要介紹了熱膨脹系數(shù)測試的儀器,，如何測試薄片狀因瓦合金。

樣品處于一定的溫度程序下，施加一定的靜態(tài)載荷,，測試樣品在測試方向上的尺寸隨溫度或時間的變化關系,。

測試樣品名稱：因瓦合金

樣品描述：25um 薄片

溫度程序：RT-300℃，5 K/min

測量模式：拉伸,，壓縮

樣品支架：石英支架

1#樣品在拉伸模式下熱膨脹系數(shù)重復性測試曲線

從樣品熱膨脹測試曲線上可以看到樣品呈現(xiàn)先收縮后膨脹走勢,。然而問題在于，因瓦合金在25-200℃不應該出現(xiàn)收縮的情況,，于是用DIL402Su進行驗證,。此時我們采用了特殊的狹縫夾具。

1#樣品在壓縮模式下熱膨脹系數(shù)測試曲線

1#樣品在壓縮模式下熱膨脹系數(shù)的測試曲線展現(xiàn)出來的膨脹系數(shù)和趨勢基本符合客戶要求,。

造成拉伸模式和壓縮模式測試曲線不同的原因

TMA拉伸模式進行測試時,，需對樣品進行制樣。需要使用夾頭夾住樣品兩端,。而當夾頭材料的膨脹系數(shù)大于樣品熱膨脹系數(shù)時,，將會導致曲線收縮的情況出現(xiàn)。

1. 面對低膨脹薄片樣品的測試時,，采用夾頭式測量方法,，只要夾頭熱膨脹系數(shù)大于樣品熱膨脹系數(shù)，結果都會產生偏差,。

2. 壓縮模式測試,，樣品很薄的話，推桿頂住樣品,，樣品容易發(fā)生彎曲影響測試結果,。如果要進行非常薄的樣品進行過壓縮模式測試時，狹縫樣品槽是一個非常好的工具,，尤其對于只能用壓縮模式來測的零膨脹薄片,。

作者

劉少博

耐馳儀器公司應用實驗室