一，高頻超聲清洗

    對于像硅片表面小至零點(diǎn)幾微米的超微污染粒子,，常規(guī)的超聲波清洗器無能為力,，即使增加功率密度也無濟(jì)于事。近來發(fā)展了一種兆赫茲級的高頻超聲清洗技術(shù),，由于頻率高,，空化效應(yīng)已不起作用，因此清洗的關(guān)鍵不是氣泡,，是高頻壓力波的擦洗作用,，其對污物的去除率接近。高頻清洗近來發(fā)展較快,，主要用于超大規(guī)模集成電路芯片的污物清洗,，以及硅晶片、陶瓷,。光掩膜等特種污物的清洗。

二,，聚焦式清洗

   對于想紡織行業(yè)的噴絲板,、過濾器之類微孔物件的清洗，常規(guī)的超聲清洗效果十分不理想,，聲強(qiáng)達(dá)不到要求,，而采用機(jī)械掃描聚焦式超聲清洗，噴絲板微孔中的污物脫離則十分明顯,。聚焦式清洗要求達(dá)到高的聲強(qiáng),，目前選用的頻率以低頻為主，常用20KHZ和15KHZ兩種頻率,，個別的頻率也有28KHZ的,，其電功率在連續(xù)波情況下一般為500~700w，間隙脈沖工作狀態(tài)下,，功率可高一些,。

三，多頻清洗

    即在一只清洗槽中,，按裝有兩種或三種以上不同頻率的換能器,，由多只發(fā)生器分別推動各自頻率的換能器,。我們知道，清洗器工作頻率高時,，在液體中空化輕度底而空化密度大,，而工作頻率底時則相反。低頻超聲波的強(qiáng)度高,，對物體表面清洗有利,，高頻超聲波空化密度高，沖擊波能穿達(dá)凹槽,、細(xì)縫,、深孔等細(xì)微結(jié)構(gòu)。同時缸中有多種頻率的超聲波,，也克服了單頻清洗駐波場造成的清洗不均勻問題,。

四，掃頻和跳頻清洗

    掃頻和跳頻清洗都是為了改善槽中的聲場結(jié)構(gòu),，前者解決了槽中的不均勻駐波場,，是清洗均勻。而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗,，不同的是跳頻用的是一個換能器和一個發(fā)生器,，其換能器本身有兩個諧振頻率，在諧振點(diǎn)帶寬內(nèi)作連續(xù)的頻率變化,，然后跳到另一帶寬內(nèi)進(jìn)行掃頻清洗,，是高低頻交替進(jìn)行清洗。