目錄:深圳深光達科技有限公司>>真空等離子清洗機>>小型實驗等離子清洗機>> PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
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VPS-RF10是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機,,擁有多層處理電極,有效提高腔體利用率,,滿足多種清洗需求 ,。其原理是利用高頻的交變電場作用于真空氣體中,形成大量的等離子體,,通過復雜的物理和化學過程來去除材料表面的污染物,。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤性,,去除不同類型的污染物和雜質,從而為之后的工序奠定良好的基礎,。
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機特點:進口等離子電源電路技術,、放電結構,確保等離子體均勻分布
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機應用:提高親水性,、提高粘接性,、有機物清洗、PDMS鍵合,、硅片玻璃清洗,、氧化物還原
產品參數(shù):
型號 | VPS-RF10 |
等離子頻率 | 13.56MHz自動阻抗匹配 |
極限真空度 | 1Pa |
功率 | 0-300W(可調) |
腔體尺寸 | 230(L)*270(D)*200(H)mm |
腔體容積 | 11L |
單層有效處理面積 | 210(L)×220(D)mm |
處理層數(shù) | 3層 |
極板間距 | 58mm |
腔體材質 | 進口級316L不銹鋼 |
氣路數(shù)量 | 2路氣體,支持氧氣,,氬氣,,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制) |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
電源 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H) |