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lambada絕對量子效率測量系統(tǒng)LAMBDA拉姆達
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保 |
|---|
LAMBDA低成本光譜膜厚測量設備拉姆達膜厚儀
分光膜厚測量 TFW-100（1）/（2）/（3）
這是工業(yè)領域的低成本光譜膜厚測量設備。
由于它是非接觸式和非破壞性的,，因此可以在短時間內輕松測量而不會損壞樣品。
它廣泛用于研發(fā)和在線質量控制中的膜厚測量,。
以低廉的價格實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性,。
LAMBDA低成本光譜膜厚測量設備拉姆達膜厚儀 <特點>
?可進行非接觸式,、非破壞性的膜厚測量。
?厚度為 10nm~1000μm,，可支持多達 3 層的膜厚測量,。
?不僅可以測量薄膜厚度，還可以測量光學倍增器（n,、k）,。
（最多 3 個參數(shù)）
? 與微小點兼容。
?還可以測量彩色濾光片顏料膜的厚度,。
■ 規(guī)格
| 類型 | TFW-100型 （1） | TFW-100型 （2） | TFW-100型 （3） | |||||||||||||||||||||||||||||||
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| 用 | 用于 ITO 等薄膜 | 一般用于薄膜厚度 | 彩色濾鏡顏料用于 薄膜厚度 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 測量的薄膜厚度 | 數(shù)量：10nm ~ 500nm （C/F）,， 500nm ~ 15μm （FFT） | 150nm~1.5μm（C/F） 1.5μm~60μm（FFT） | 500nm~10μm（C/F） | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 測量可重復性 | 0.2%~1%（取決于薄膜質量） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 測量波長 | 300納米~1000納米 | 400 納米~700 納米 | 900納米~1600納米 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 光源 | 12V-100W 鹵素燈 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 測量軟件 | TF-Lab （曲線擬合 / FFT） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
■ 膜厚測量的應用實例
| （1） 與晶圓輸送機相結合的自動測量 | （2） 使用帶有 XYZ 平臺的樣品測量臺進行測量 | |
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