HORIBA堀場在線監(jiān)控橢偏儀靈敏度高

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD,、MOCVD,、磁控濺射、蒸鍍,、ALD和MBE）,，實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。

HORIBA堀場在線監(jiān)控橢偏儀靈敏度高UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快,、靈敏度高,、動態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕,，即使過程速度比較快也可實現(xiàn),。

采用新型適配器組件可以實現(xiàn)臺式設備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅動,，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀,。DeltaPsi2具有眾多先進的建模和擬合處理功能，操作界面簡單,，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段,。先進的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設計用于生產環(huán)境和OEM,。

• 高速,、準確

• 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包

• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度

• 光學常數(shù)（n,k）

• 材料組成

各類日系工業(yè)品:,SSD西西蒂(離子風扇),、AND愛安得（電子天平）,、SAN-EI三英(點膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀,、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）,、POLARION普拉瑞,、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎,、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）,、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）,、SIBATA柴田科學（環(huán)境測定）,、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強光燈,、CEDAR思達