HORIBA堀場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD,、MOCVD,、磁控濺射、蒸鍍,、ALD和MBE）,，實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。

HORIBA堀場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快,、靈敏度高,、動(dòng)態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕,，即使過程速度比較快也可實(shí)現(xiàn),。

采用新型適配器組件可以實(shí)現(xiàn)臺(tái)式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動(dòng),，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀,。DeltaPsi2具有眾多先進(jìn)的建模和擬合處理功能，操作界面簡(jiǎn)單,，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段,。先進(jìn)的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM,。

• 高速,、準(zhǔn)確

• 完整集成了實(shí)時(shí)測(cè)量、建模和報(bào)告軟件包

• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度

• 光學(xué)常數(shù)（n,k）

• 材料組成

各類日系工業(yè)品:,SSD西西蒂(離子風(fēng)扇),、AND愛安得（電子天平）,、SAN-EI三英(點(diǎn)膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機(jī),USHIO牛尾照度計(jì),Tsubosaka壺坂電機(jī),IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機(jī),lambda拉姆達(dá)膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設(shè)備,、顯影）,、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）,、Iwasaki巖崎,、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺(tái)階儀）,、HORIBA堀場(chǎng)儀器（分析儀）,、SIBATA柴田科學(xué)（環(huán)境測(cè)定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）,、yamada山田鹵素強(qiáng)光燈,、CEDAR思達(dá)