HORIBA堀場高靈敏度橢偏儀

UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設(shè)計,，整個系統(tǒng)處于真空狀態(tài),，無氧氣吸收。具備高準確性,；超快測量速度,；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品,；氮氣消耗量少,。光譜范圍可覆蓋147-2100nm。

UVISEL 2 VUV能夠在充氮氣或抽真空模型下工作,。整個機械設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,，氮氣消耗量低至6L/min，載樣速度快,，2分鐘內(nèi)即可完成,。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。

HORIBA堀場高靈敏度橢偏儀UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度,，它集成了大功率雙光源,、高通量光學系統(tǒng)以及CaF2光彈調(diào)制晶體和兩個時髦的單色儀。從147nm到850nm,，樣品測量時間少于8分鐘,，具有良好的信噪比,。

UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮氣消耗量,、吹掃及測試時間，改變了VUV橢偏儀的世界。

DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析,，輸出報告,，以及自動操作的全部功能控制，用戶界面直觀,、友好,，非常適用于科研及工業(yè)客戶使用。

UVISEL 2 VUV測試速度快,、運行成本低,，使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動化,。

• 載樣速度快

• 吹掃速度快

• 氮氣消耗少

• 測試速度快

• 兩種操作模式可選：氮氣保護或抽真空