HORIBA堀場(chǎng)真空紫外橢偏儀

UVISEL 2 VUV專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài),，無氧氣吸收,。具備高準(zhǔn)確性；超快測(cè)量速度,；快速樣品室抽真空能力,，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?span style="box-sizing: border-box; font-weight: bolder;">光譜范圍可覆蓋147-2100nm,。

HORIBA堀場(chǎng)真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV能夠在充氮?dú)饣虺檎婵漳Ｐ拖鹿ぷ?。整個(gè)機(jī)械設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，氮?dú)庀牧康椭?L/min,，載樣速度快,，2分鐘內(nèi)即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載,。

UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度,，它集成了大功率雙光源、高通量光學(xué)系統(tǒng)以及CaF2光彈調(diào)制晶體和兩個(gè)時(shí)髦的單色儀,。從147nm到850nm,，樣品測(cè)量時(shí)間少于8分鐘，具有良好的信噪比,。

UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮?dú)庀牧?、吹掃及測(cè)試時(shí)間，改變了VUV橢偏儀的世界,。

DeltaPsi2軟件提供了從測(cè)試到建模分析,，輸出報(bào)告，以及自動(dòng)操作的全部功能控制,，用戶界面直觀,、友好，非常適用于科研及工業(yè)客戶使用,。

UVISEL 2 VUV測(cè)試速度快,、運(yùn)行成本低，使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動(dòng)化,。

• 載樣速度快

• 吹掃速度快

• 氮?dú)庀纳?/p>

• 測(cè)試速度快

• 兩種操作模式可選：氮?dú)獗Ｗo(hù)或抽真空

各類日系工業(yè)品:,SSD西西蒂(離子風(fēng)扇),、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點(diǎn)膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機(jī),USHIO牛尾照度計(jì),Tsubosaka壺坂電機(jī),IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機(jī),lambda拉姆達(dá)膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀,、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設(shè)備,、顯影）、POLARION普拉瑞,、AITEC艾泰克（檢查光源）,、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀）,、KOSAKA小坂（臺(tái)階儀）,、HORIBA堀場(chǎng)儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學(xué)（環(huán)境測(cè)定）,、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）,、yamada山田鹵素強(qiáng)光燈、CEDAR思達(dá)