HORIBA堀場(chǎng)橢圓偏振光譜儀

UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為優(yōu)良薄膜,、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合。

UVISEL Plus作為一款高準(zhǔn)確性,、高靈敏度,、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型，它采用了PEM 相位調(diào)制技術(shù),，與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,， 能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm,。

UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術(shù),，可在3分鐘以?xún)?nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測(cè)試（190-2100 nm），校準(zhǔn)僅需幾分鐘,?；谌碌碾娮釉O(shè)備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,，F(xiàn)astAcq技術(shù)能夠?yàn)橛脩?hù)提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集,。FastAcq專(zhuān)門(mén)為薄膜表征設(shè)計(jì)，雙調(diào)制技術(shù)可以確保您獲得優(yōu)異的測(cè)試結(jié)果,。

HORIBA堀場(chǎng)橢圓偏振光譜儀相位調(diào)制技術(shù)的特點(diǎn)為高頻調(diào)制 50 kHz,，信號(hào)采集過(guò)程無(wú)移動(dòng)部件：

• 測(cè)試全范圍的橢偏角，Ψ (0-90),，Δ (0-360)

• 從FUV到NIR具有優(yōu)良的信噪比

• 數(shù)據(jù)采集速度快,，高達(dá)50毫秒/點(diǎn)，是動(dòng)力學(xué)研究和在線測(cè)量的理想選擇

相比于采用 旋轉(zhuǎn)元件調(diào)制的傳統(tǒng)橢圓偏振光譜儀,，UVISEL Plus的相位調(diào)制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度,。它不僅可以探測(cè)到其他橢偏儀無(wú)法觀測(cè)到的極薄膜或界面，還可以表征50µm的厚膜,。

在測(cè)試有背反射的透明樣品時(shí),，測(cè)試簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確,，無(wú)需刮花背面,。

UVISEL Plus還設(shè)計(jì)有多種附件及可選功能，便于客戶(hù)根據(jù)應(yīng)用需求及預(yù)算選擇合適的配置,。比如,，微光斑用于圖案樣品、自動(dòng)變角器,、自動(dòng)樣品臺(tái)等,。

UVISEL Plus采用模塊化設(shè)計(jì)，可靈活擴(kuò)展,。即可用于離線臺(tái)式測(cè)量,，也可以耦合于鍍膜設(shè)備做在線監(jiān)控,。

UVISEL Plus可根據(jù)習(xí)慣選擇操作界面，一個(gè)是 DeltaPsi2  具有建模和擬合處理功能,；另一個(gè)是 Auto-Soft 用戶(hù)導(dǎo)向的全自動(dòng)樣品測(cè)試界面 ,，工作流程直觀，易于非專(zhuān)業(yè)人士操作,。

UVISEL Plus搭載FastAcq技術(shù)是材料研究和加工,、平板顯示、微電子和光伏領(lǐng)域中優(yōu)選通用光譜型橢偏儀,。

UVISEL Plus是材料科學(xué)研究的理想工具,。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 高精度和高靈敏度

• 模塊化設(shè)計(jì)

• 寬光譜范圍： 190-2100 nm

• 集數(shù)據(jù)測(cè)量,、建模和自動(dòng)化操作為一體的軟件包

獲得的信息

• 膜層厚度,，從1?到50 µm

• 表面和界面粗糙度

• 光學(xué)常數(shù) (n,k) ，適用于各向同/異性和漸變層

• 光學(xué)特性如：吸收系數(shù)α, 光學(xué)帶隙Eg

• 材料性能：合金成分,、孔隙率,、結(jié)晶度及形貌等

• 穆勒矩陣

• 退偏

各類(lèi)日系工業(yè)品:,SSD西西蒂(離子風(fēng)扇)、AND愛(ài)安得（電子天平）,、SAN-EI三英(點(diǎn)膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機(jī),USHIO牛尾照度計(jì),Tsubosaka壺坂電機(jī),IMV愛(ài)睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機(jī),lambda拉姆達(dá)膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀,、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設(shè)備、顯影）,、POLARION普拉瑞,、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎,、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀）,、KOSAKA小坂（臺(tái)階儀）、HORIBA堀場(chǎng)儀器（分析儀）,、SIBATA柴田科學(xué)（環(huán)境測(cè)定）,、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強(qiáng)光燈,、CEDAR思達(dá)