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FSEM AA200-雙靶位噴金儀
  • FSEM AA200-雙靶位噴金儀

貨物所在地:江蘇蘇州市

更新時間:2025-06-04 09:56:01

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FSEM AA200雙靶位噴金儀適用于常規(guī)SEM和TEM分析,。該設(shè)備是全自動系統(tǒng),,從而使操作變得極為簡便。秉承人體工學(xué)設(shè)計理念的同時,,緊湊的外觀設(shè)計和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實驗室空間,。FSEM系列噴金儀采用高性能旋葉真空泵,快速獲得<1Pa的真空環(huán)境,,高精度的濺射電源采用恒流控制,,鍍膜更純,膜厚更更準(zhǔn),,結(jié)果重復(fù)性更好,。

u應(yīng)用簡介

如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質(zhì)量的樣本成像,樣本需要具有導(dǎo)電性,,以避免電荷聚積,。如果樣本沒有足夠高的導(dǎo)電性,您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導(dǎo)電層,。 還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法,。 這類鍍膜既可以保護(hù)樣本,增強(qiáng)電子顯微成像的對比度,,又可以作為小規(guī)模樣本的透射電鏡載網(wǎng)支撐膜,。

u設(shè)備概述

FSEM AA200雙靶位噴金儀適用于常規(guī)SEM和TEM分析設(shè)備是全自動系統(tǒng),,從而使操作變得極為簡便,。秉承人體工學(xué)設(shè)計理念的同時,,緊湊的外觀設(shè)計和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實驗室空間,。FSEM系列噴金儀為全閉環(huán)真空設(shè)計,,配有全量程皮拉尼真空計等多個傳感器實時監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài),,保證儀器安全穩(wěn)定運(yùn)行。采用高性能旋葉真空泵,,快速獲得<1Pa的真空環(huán)境,,高精度的濺射電源采用恒流控制,鍍膜更純,,膜厚更準(zhǔn),,結(jié)果重復(fù)性更好。

u產(chǎn)品特點

設(shè)計美觀,,操作簡單,,界面友好、一鍵鍍膜

◇ 雙靶位設(shè)計,,無需更換靶材,,可實現(xiàn)疊層工藝

◇ 采用抽大樣品倉,可進(jìn)行快速制樣,,樣品臺可預(yù)傾斜及旋轉(zhuǎn),,旋轉(zhuǎn)可調(diào)

◇ 可直接放置16個標(biāo)準(zhǔn)釘型樣品臺,無需工作人員介入,,節(jié)省人力和時間

◇ 采用ARM架構(gòu),,全自動控制,控制精度高,,操作簡單

◇ 低電壓,,穩(wěn)定真空環(huán)境,可濺射多種常用金屬金,、鉑、鈀,、銀等

◇ 濺射顆??蛇_(dá)納米級別,濺射顆粒<5nm制備薄膜致密,,適合高分辨SEM使用

◇ 采用磁控濺射技術(shù),,利用平面磁場減少溫度的變化,適用于溫度敏感樣品

◇ 配有多個傳感器實時監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài),,保證儀器使用安全

◇ 長期運(yùn)行,,穩(wěn)定可靠,無需特殊維護(hù)

◇ 具備開關(guān)機(jī)數(shù)據(jù)存儲記憶,,修復(fù)長期應(yīng)用偏差

◇ 儀器可全自動控制,,更方便用戶實現(xiàn)各種自動化控制操作

◇ 軟件遵循GMP規(guī)范,,方便實現(xiàn)用戶管理,使用記錄等功能

u技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號

FSEM AA200

濺射類型

低壓磁控平面濺射

靶材尺寸

雙靶位靶材,,靶材直徑32mm

控制模式

5寸觸摸屏全自動程序控制

真空系統(tǒng)

機(jī)械旋葉泵,,極限真空<1Pa真空抽速1L/s

真空測量

全量程皮拉尼數(shù)字真空計

工作真空

2-8Pa,真空精度可達(dá)0.1Pa

樣品臺

可升降傾斜旋轉(zhuǎn),,可放置16個標(biāo)準(zhǔn)釘型臺,,直徑可達(dá)100mm

濺射電源

雙恒流磁控DC濺射電源300-600V,Max50mA控制精度可達(dá)1mA

濺射時間

≤600s,,控制精度1s

真空腔室

φ160×120mm

供電要求

200-240VAC 50Hz,,功率900W

外形尺寸

520×360×380mm




u配置清單

序號

名稱

規(guī)格

數(shù)量

1.

雙靶位噴金儀主機(jī)

FSEM AA200

1臺

2.

濺射靶材金靶

φ32×0.1mm

1個

3.

濺射靶材鉑靶

φ32×0.1mm

1個

4.

真空管路

KF16-1.2m

1根

5.

機(jī)械真空泵

VRD-4

1臺

6.

合格證、保修卡,、說明書,、裝箱單

/

1套


u服務(wù)承諾

1、產(chǎn)品到達(dá)貴公司后,,我公司工程師可在貴公司準(zhǔn)備好設(shè)備所需外部條件(如水,、電等)后,,負(fù)責(zé)該設(shè)備的安裝,、調(diào)試、啟動工作,,并提供良好的技術(shù)支持和售后服務(wù),,同時對貴公司使用人員進(jìn)行設(shè)備使用培訓(xùn),保證受訓(xùn)人員能夠獨(dú)立,、熟練操作設(shè)備和完成簡單的維修工作,、設(shè)備日常維護(hù)工作。復(fù)雜設(shè)備,,此項工作在用戶現(xiàn)場進(jìn)行,,簡單設(shè)備,此項工作遠(yuǎn)程視頻指導(dǎo)進(jìn)行,,具體按照雙方合同條款執(zhí)行,。

2、我公司產(chǎn)品在貴公司負(fù)責(zé)人驗收合格書上簽字之日起計算,,免費(fèi)保修壹年,。在免費(fèi)保修期內(nèi)產(chǎn)品發(fā)生非人為質(zhì)量問題,,我公司為貴公司提供免費(fèi)維修,。如產(chǎn)品在免費(fèi)保修期外出現(xiàn)故障,維修服務(wù)只適當(dāng)收取人工費(fèi)與材料成本費(fèi),,并采取“先維修后付費(fèi)"的原則,。

3,、我司擁有全國客戶支持中心,通過電話及視頻通話及時幫助全國客戶解答問題,,擁有一支訓(xùn)練有素的工程師隊伍為全國各地的客戶提供優(yōu)質(zhì),、快速的上門服務(wù)。我司在接到貴方的故障通知后,,保證在 0.5 小時內(nèi)做出響應(yīng),,如有需要,確保12小時內(nèi)到達(dá)客戶現(xiàn)場排除故障,。

4,、我公司承諾在該設(shè)備的使用期間,可無償,、無限期地提供該設(shè)備的技術(shù)支持工作,。

5、我公司承諾提供免費(fèi)軟件升級服務(wù)(如涉及),。

6,、我司工程師長期免費(fèi)為客戶提供金相/電鏡制樣工藝制定協(xié)助。

7,、我司有完善的配套耗材體系,,客戶有新材料需要制樣時,免費(fèi)為客戶提供合適的耗材進(jìn)行測試,。

8,、由于我司和SGS、華測檢測,、上海機(jī)械協(xié)會失效分析委員會,、上海市電子學(xué)會SMT/MPT專委會、北京科技大學(xué),、蘇州大學(xué)等行業(yè)三方檢測機(jī)構(gòu)和學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)有深入合作,,我方承諾為客戶失效分析實驗室提供長期免費(fèi)咨詢服務(wù)和引薦服務(wù)。



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