德國DI-SORIC電感式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件,，將被測轉(zhuǎn)物理量或機(jī)械量換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置，實(shí)際上就是一個(gè)具有可變參數(shù)的電容器,。德國DI-SORIC電感式傳感器廣泛用于位移,、角度,、振動(dòng)、速度,、壓力,、成分分析、介質(zhì)特性等方面的測量,。常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器,。德國DI-SORIC電感式傳感器的優(yōu)點(diǎn)：1)溫度穩(wěn)定性好德國DI-SORIC電感式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微,。而電阻傳感器有銅損,，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。2)結(jié)構(gòu)簡單德國DI-SORIC電感式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,，易于制造和保證高的精度,，可以做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量,；能工作在高溫,，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化,，承受高壓力,，高沖擊，過載等,；能測量超高溫和低壓差,，也能對帶磁工作進(jìn)行測量。3)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好德國DI-SORIC電感式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N),，需要的作用能量極小,，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕,，因此其固有頻率很高,，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作,，特別適用于動(dòng)態(tài)測量,。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高,。它可用于測量高速變化的參數(shù),。4)可以非接觸測量且靈敏度高可非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等,。當(dāng)采用非接觸測量時(shí),，電容式傳感器具有平均效應(yīng),，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。德國DI-SORIC電感式傳感器除了上述的優(yōu)點(diǎn)外,，還因其帶電極板間的靜電引力很小,，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測極低的壓力,、力和很小的加速度,、位移等，可以做得很靈敏,，分辨力高,，能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小,，采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)并接成電橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘極小,，因此允許電路進(jìn)行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度,。德國DI-SORIC電感式傳感器的缺點(diǎn)：①輸出阻抗高,，負(fù)載能力差。無論何種類型的德國DI-SORIC電感式傳感器,，受電極板幾何尺寸的限制,，其電容量都很小，一般為幾十到幾百皮法(pF),，因此使電容式傳感器的輸出阻抗很高,，可達(dá) ～ Ω。由于輸出阻抗很高,，因而輸出功率小,，負(fù)載能力差，易受外界干擾影響而產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象,，嚴(yán)重時(shí)甚至無法工作,。②寄生電容影響大。德國DI-SORIC電感式傳感器的初始電容量很小,，而連接傳感器和電子線路的引線電纜電容,、電子線路的雜散電容以及電容極板與周圍導(dǎo)體構(gòu)成的電容等寄生電容卻較大。寄生電容的存在不但降低了測量靈敏度,，而且引起非線性輸出,。由于寄生電容是隨機(jī)變化的．因而使傳感器處于不穩(wěn)定的工作狀態(tài)．影響測量準(zhǔn)確度。