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供應(yīng)簡(jiǎn)介

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵是一種集成了分子泵和機(jī)械泵工作原理的高真空獲取設(shè)備，通過(guò)創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了泵體在空間姿態(tài)上的靈活適應(yīng)性,。與傳統(tǒng)分子泵相比,，該類型泵采用了復(fù)合式抽氣機(jī)制，結(jié)合了渦輪分子泵的高抽速特點(diǎn)和牽引分子泵的高壓縮比優(yōu)勢(shì),，同時(shí)通過(guò)柔性支撐系統(tǒng)和智能控制技術(shù),，使泵體能夠在傾斜,、旋轉(zhuǎn)等多種姿態(tài)下穩(wěn)定工作。

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵 TG50F

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵是一種集成了分子泵和機(jī)械泵工作原理的高真空獲取設(shè)備,，通過(guò)創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了泵體在空間姿態(tài)上的靈活適應(yīng)性,。與傳統(tǒng)分子泵相比，該類型泵采用了復(fù)合式抽氣機(jī)制,，結(jié)合了渦輪分子泵的高抽速特點(diǎn)和牽引分子泵的高壓縮比優(yōu)勢(shì),，同時(shí)通過(guò)柔性支撐系統(tǒng)和智能控制技術(shù)，使泵體能夠在傾斜,、旋轉(zhuǎn)等多種姿態(tài)下穩(wěn)定工作,。

這種泵的核心技術(shù)在于其多級(jí)轉(zhuǎn)子系統(tǒng)，通常包含高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片級(jí)和螺旋槽式的牽引級(jí),，通過(guò)精密配合實(shí)現(xiàn)氣體分子從進(jìn)氣口到出氣口的定向傳輸,。柔性設(shè)計(jì)使得泵體能夠適應(yīng)復(fù)雜安裝環(huán)境，特別適合空間受限或需要?jiǎng)討B(tài)調(diào)整姿態(tài)的應(yīng)用場(chǎng)景,。

進(jìn)氣法蘭		VG65 ISO-R63 CF63 系列
抽速	N2 （升/秒）	51
	N2（帶保護(hù)網(wǎng)）（升/秒）	49
	H2 （升/秒）	12
最大壓縮比	N2	1,4×10%7
最大壓縮比	H2	5×102
極限壓力	VG/ISO-R/CF （帕）	<3×10-6
極限壓力	VG?ISO-R/CF （托）	<2.3×10-8
最大氣體流速※1	N2 （SCCM）	80
啟動(dòng)時(shí)間	（分鐘）	1-1.5
停機(jī)時(shí)間	（分鐘）	1-1.5
允許的輔助壓力	（Pa / Torr）	1330 / 10
推薦的輔助泵	（升/分鐘）	≧50
安裝姿勢(shì)		自由
質(zhì)量	VG/ISO-R/CF（千克）	4.2 / 6
控制器類型		TC64 系列

[ 工作環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度為 10~23°C,。允許環(huán)境溫度為風(fēng)冷 10~32°C，水冷 10~40°C,。極限壓力保證：冷卻水溫度不大于30°C,，允許冷卻水溫度為10~35°C。
根據(jù)吸入氣體
的類型,，它可能會(huì)使軸承潤(rùn)滑脂和內(nèi)部零件變質(zhì),。請(qǐng)聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵的技術(shù)特點(diǎn)

1. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特點(diǎn)

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵采用模塊化轉(zhuǎn)子組件,，各級(jí)轉(zhuǎn)子通過(guò)柔性聯(lián)軸器連接,，允許微小的相對(duì)位移。軸承系統(tǒng)通常采用混合陶瓷軸承或磁懸浮軸承,，配合主動(dòng)振動(dòng)控制系統(tǒng),，確保在不同工作姿態(tài)下的運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。泵殼設(shè)計(jì)考慮了熱膨脹系數(shù)匹配問(wèn)題,，采用特殊合金材料制造,，保證溫度變化時(shí)的幾何精度。

2. 抽氣機(jī)制復(fù)合性

前級(jí)采用渦輪分子泵結(jié)構(gòu),，由20-40級(jí)動(dòng)葉片和靜葉片交替排列組成,，實(shí)現(xiàn)氣體的初步壓縮；后級(jí)轉(zhuǎn)為螺旋牽引結(jié)構(gòu),，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的螺旋槽與靜止壁面形成分子流,，將氣體進(jìn)一步壓縮至可被前級(jí)泵處理的壓力范圍。這種復(fù)合設(shè)計(jì)使泵在10-10?Pa范圍內(nèi)都能保持較高抽速,。

3. 姿態(tài)適應(yīng)性技術(shù)

通過(guò)六維力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泵體受力狀態(tài),，結(jié)合主動(dòng)平衡控制系統(tǒng)動(dòng)態(tài)調(diào)整轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡,。采用抗傾覆軸承設(shè)計(jì)和分布式潤(rùn)滑系統(tǒng)，確保泵在±30°傾斜范圍內(nèi)正常工作,。部分型號(hào)還配備姿態(tài)記憶功能,，可自動(dòng)恢復(fù)工作參數(shù)。

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