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供應(yīng)簡介

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵是一種集成了分子泵和機械泵工作原理的高真空獲取設(shè)備,，通過創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)了泵體在空間姿態(tài)上的靈活適應(yīng)性,。與傳統(tǒng)分子泵相比,，該類型泵采用了復(fù)合式抽氣機制,，結(jié)合了渦輪分子泵的高抽速特點和牽引分子泵的高壓縮比優(yōu)勢,，同時通過柔性支撐系統(tǒng)和智能控制技術(shù),，使泵體能夠在傾斜,、旋轉(zhuǎn)等多種姿態(tài)下穩(wěn)定工作,。

詳細介紹

Osaka Vacuum大阪真空柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵 TG350F

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵是一種集成了分子泵和機械泵工作原理的高真空獲取設(shè)備，通過創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)了泵體在空間姿態(tài)上的靈活適應(yīng)性,。與傳統(tǒng)分子泵相比,，該類型泵采用了復(fù)合式抽氣機制，結(jié)合了渦輪分子泵的高抽速特點和牽引分子泵的高壓縮比優(yōu)勢,，同時通過柔性支撐系統(tǒng)和智能控制技術(shù),，使泵體能夠在傾斜、旋轉(zhuǎn)等多種姿態(tài)下穩(wěn)定工作,。

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵的顯著優(yōu)勢

1. 空間適應(yīng)性強

相比傳統(tǒng)分子泵嚴格的安裝姿態(tài)要求（通常限于±5°偏差）,，柔性姿態(tài)設(shè)計允許設(shè)備在復(fù)雜空間布局中靈活安裝。這一特性極大拓展了分子泵在移動平臺,、航天器等特殊環(huán)境中的應(yīng)用可能性,，解決了傳統(tǒng)設(shè)備因空間限制無法安裝的難題。

2. 性能穩(wěn)定性優(yōu)異

復(fù)合抽氣機制使泵在寬壓力范圍內(nèi)保持平穩(wěn)的抽速曲線,，避免了傳統(tǒng)分子泵在過渡區(qū)域的性能波動,。實測數(shù)據(jù)顯示,，柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵在10-2至10-6Pa范圍內(nèi)的抽速波動小于±5%，遠優(yōu)于常規(guī)設(shè)計的±15%行業(yè)標準,。

3. 可靠性大幅提升

柔性支撐系統(tǒng)可吸收80%以上的振動能量，使軸承壽命延長3-5倍,。智能監(jiān)控系統(tǒng)實時檢測轉(zhuǎn)子狀態(tài),，在異常振動發(fā)生前即可預(yù)警，將意外停機風(fēng)險降低90%,。平均時間(MTBF)可達50,000小時以上,。

4. 能耗效率優(yōu)化

通過計算流體動力學(xué)(CFD)優(yōu)化的葉片型線使氣體傳輸效率提升20%，配合變頻驅(qū)動技術(shù),，整體能耗比同級傳統(tǒng)分子泵低15-30%,。在連續(xù)工作模式下，年節(jié)省電費可達數(shù)千元,。

型		TG350F 系列
進氣法蘭		VG100 ISO-R100 CF100
抽速	VG / ISO-R?CF N2 （升/秒）	350 / 330
	VG / ISO-R?CF N2（帶保護網(wǎng)）（升/秒）	330 / 310
	VG / ISO-R?CF H2 （升/秒）	210 / 210
最大壓縮比	N2	1×108
最大壓縮比	H2	2×103
極限壓力	（Pa / Torr）	<1×10-6 / <7.5×10-9
最大氣體流速※1	（SCCM）	500
啟動時間	（分鐘）	2-2.5
停機時間	（分鐘）	5-6.5
允許的輔助壓力	（Pa / Torr）	260 / 2
推薦的輔助泵	（升/分鐘）	≧80
安裝姿勢		自由
質(zhì)量	VG/ISO-R/CF（千克）	6 / 9
控制器類型		TC353 系列

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