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Osaka Vacuum大阪真空 超低振動型渦輪分子泵 TG1300ML
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渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵,。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功,，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動,，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環(huán)境,。
渦輪分子泵的典型應用領域
（一）半導體制造
晶圓加工設備（刻蝕,、離子注入等）
光刻機真空系統
半導體鍍膜設備
（二）科學研究
高能物理實驗裝置
表面分析儀器（XPS、AES等）
空間環(huán)境模擬設備
（三）分析儀器
質譜儀
電子顯微鏡
同步輻射裝置
（四）特種工藝
分子束外延（MBE）
納米材料制備
精密光學鍍膜
（五）新興領域
量子計算研究
核聚變實驗裝置
先進材料研發(fā)
用
EUV 光刻設備等下一代半導體制造設備
高精度,、高性能電子顯微鏡,、分析設備、測量設備等
半導體制造正在朝著 “小型化 " 和 “高集成度 "的方向發(fā)展,。 同時,，分析,、測量和檢查過程也要求“更準確"和“更復雜"。
為了進行微細加工和微觀區(qū)域的測量和分析,，即使改進了控制技術,，設備振動也毫無意義。 因此,，真空泵對減振的需求非常強烈,。
我們成功地將泵體的振動值抑制到 1 nm 或更小,！ * 根據我們的測量方法
配備特殊的防振阻尼器,，振動值進一步降低一個數量級！
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備,、電子計測,、科學儀器、機械加工設備,、環(huán)境試驗 ...
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