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供應(yīng)簡介

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵,。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一,。

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TG1300MU

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵,。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功,，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一,。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度,，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境,。

渦輪分子泵的核心優(yōu)勢

真空性能

可獲得10??mbar以上的超高真空

抽速曲線平坦，工作范圍寬

對輕質(zhì)氣體（如氫氣）抽速高

清潔無污染

無油,，不會產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴?/p>

適合潔凈敏感工藝

符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)

高效節(jié)能

比擴(kuò)散泵節(jié)能50%以上

快速啟動,，縮短工藝周期

功率因數(shù)高

穩(wěn)定可靠

平均時(shí)間超過30000小時(shí)

抗突發(fā)大氣沖擊能力強(qiáng)

振動噪聲小

智能控制

變頻調(diào)速功能

實(shí)時(shí)狀態(tài)監(jiān)測

故障自診斷系統(tǒng)

在超高真空環(huán)境中，大部分殘留氣體是氫氣等輕質(zhì)氣體,。通過提高輕質(zhì)氣體的排氣性能,，更容易獲得更好的真空環(huán)境。

如果在初始排氣中能獲得良好的真空環(huán)境,，就可以在殘留氣體很少的情況下進(jìn)行制造過程,，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。

用

?開發(fā)
,、制造
、加速器,、同步輻射設(shè)備,、核聚變研究等

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