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供應(yīng)簡(jiǎn)介

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功,，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一,。

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TG390MI

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一,。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng),，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度,，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵主要分為兩大類：

復(fù)合式渦輪分子泵：結(jié)合渦輪級(jí)和牽引級(jí),，具有更寬的工作壓力范圍

純渦輪分子泵：全部由渦輪葉片組成，在超高真空下性能更優(yōu)

現(xiàn)代渦輪分子泵通常由電機(jī),、轉(zhuǎn)子組件,、軸承系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和外殼五大部分組成,，采用精密動(dòng)平衡技術(shù)確保高速運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性,。

對(duì)于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機(jī)構(gòu),，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率,。

傳統(tǒng)的方法是加熱整個(gè)周圍區(qū)域

，包括反應(yīng)產(chǎn)物的目標(biāo)部分

對(duì)策,，并分散熱量,。

?無(wú)法有效使用。

?對(duì)目標(biāo)區(qū)域以外的區(qū)域的熱效應(yīng)

TG-MI 系列采取的措施

除了通過(guò)外部加熱器提高溫度外,，還可以有效利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體的摩擦熱,，有效地提高氣體接觸部分的溫度

，減少外部加熱器的輸出功率,，提高節(jié)能效果,！

?減少對(duì)主要部件的熱影響，減少對(duì)泵的損傷,。

?排氣管也采用隔熱材料,。保持最佳溫度并防止產(chǎn)品在排氣管中形成。

用

半導(dǎo)體,、FPD,、MEMS 制造等蝕刻設(shè)備
易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備

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