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供應(yīng)簡介

渦輪分子泵作為高真空技術(shù)的核心設(shè)備，其性能直接影響整個(gè)真空系統(tǒng)的表現(xiàn),。隨著中國在高科技領(lǐng)域的快速發(fā)展,，渦輪分子泵的國產(chǎn)化進(jìn)程正在加速,，性能已逐步接近先進(jìn)水平,。在半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的戰(zhàn)略背景下,，渦輪分子泵的研發(fā)與制造已成為國家科技競爭力的重要體現(xiàn),。

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TG420MI

渦輪分子泵作為高真空技術(shù)的核心設(shè)備,，其性能直接影響整個(gè)真空系統(tǒng)的表現(xiàn)。隨著中國在高科技領(lǐng)域的快速發(fā)展,，渦輪分子泵的國產(chǎn)化進(jìn)程正在加速,，性能已逐步接近先進(jìn)水平。在半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的戰(zhàn)略背景下,，渦輪分子泵的研發(fā)與制造已成為國家科技競爭力的重要體現(xiàn),。

對于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機(jī)構(gòu),，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率,。

傳統(tǒng)磁浮軸承渦輪分子泵反應(yīng)產(chǎn)物的對策

一種加熱包括目標(biāo)部分在內(nèi)的整個(gè)周圍區(qū)域并分散熱量的方法。它不能被有效地使用,。

? 目標(biāo)區(qū)域外的熱效應(yīng)

TGkineMI-B 系列的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外,，還可以有效地利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度

,，減少外部加熱器的輸出功率,，提高節(jié)能效果！

?減少對主要部件的熱影響,，減少對泵的損傷,。

?保持最佳溫度，防止在排氣管中產(chǎn)生產(chǎn)品,。

用

半導(dǎo)體,、FPD、MEMS 制造等蝕刻設(shè)備

易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備

性能優(yōu)勢分析

與傳統(tǒng)設(shè)備對比

抽速提升50%（同體積）

能耗降低40%

維護(hù)周期延長3倍

關(guān)鍵性能指標(biāo)

極限真空度（10?1? P）

抽氣速率（10-5000 m3/h）

噪音水平（<65 dB）

真空泵是通過機(jī)械,、物理或化學(xué)方法從密閉容器中抽出氣體以獲得真空環(huán)境的專業(yè)設(shè)備,。

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