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油擴散真空泵可以實現(xiàn) 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空,，與其他高真空泵相比,，安裝經(jīng)濟上容易，初始成本低,，并且由于結(jié)構(gòu)簡單,，具有可靠性和耐用性,，可長期提供穩(wěn)定的性能。它廣泛應(yīng)用于研發(fā)等各個領(lǐng)域,。

愛發(fā)科的 ULK 型油擴散泵是一種高真空排氣泵,，其設(shè)計具有大臨界背壓和小尺寸。

它被廣泛用于從研究應(yīng)用到生產(chǎn)線,。

長處

它是一種堅固的高真空泵,，沒有機械滑動部件。

兩種類型的油和加熱器的選擇將使您達到所需的抽速和極限壓力,。

它配備了一個機構(gòu),，以防止液壓油流向輔助泵側(cè)。

用

?氣相沉積設(shè)備

,、高真空實驗室設(shè)備

型		ULK-04A 系列		ULK-06A 系列		ULK-10A 型		ULK-14A 型
抽速		550 升/秒	500 升/秒	1200 升/秒	1100 升/秒	3400 升/秒	3000 升/秒	5400 升/秒	4900 升/秒
極限壓力 *1		<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕	<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕	<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕	<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕
臨界背壓		40 帕	60 帕	40 帕	60 帕	35 帕	40 帕	30 帕	30 帕
開始時間		9 分鐘	8.5 分鐘	16.5 分鐘	15 分鐘	20 分鐘	20 分鐘	25 分鐘	25 分鐘
液壓油 *2		ULVOIL D-11,，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）	ULVOIL D-11，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）	ULVOIL D-11,，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）	ULVOIL D-11,，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）
油量		0.15 升		0.35 升		0.8 升		1.5 升
水溫		19°C ~ 25°C
冷卻水（尺寸×系統(tǒng)數(shù)量）		遙控 1/4"		遙控 1/4"		遙控 3/8"		遙控 3/8"
冷卻水量		1 升/分鐘		1 升/分鐘	1.5 升/分鐘	2.5 升/分鐘	3 升/分鐘	2.5 升/分鐘	3.5 升/分鐘
電壓規(guī)格		200V / 1Φ
電源要求		0.55 千瓦	0.73 千瓦	0.9 千瓦	1.2 千瓦	2.4 千瓦	2 千瓦	2.25 千瓦	2.4 千瓦
加熱器類型		熱板		熱板		熱板		熱板
推薦輔助泵 *3		VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360 系列		VD30C / VD40C / VD60C		VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030		VS1501 / VS2401 / PKS-030
外徑 *4	一個	175 毫米		250 毫米		340 毫米		340 毫米
	B	150 毫米		180 毫米		240 毫米		240 毫米
	H	346 毫米		454 毫米		650 毫米		670 毫米
進氣口		VG100 系列		VG150型		VG250 系列		VG350型
排氣口		VG25型		VG40 系列		VG80型		VG80型
質(zhì)量		7.5 千克		13.5 千克		47 千克		56 千克
油位計		沒有		沒有		視窗		視窗
恒溫器選項		存在		存在		存在		存在
恒溫器設(shè)定溫度		250 °攝氏度		250 °攝氏度		180 攝氏度		180 攝氏度

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