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3C閥門類別 | 工業(yè) | 工作溫度 | 其他 |
---|---|---|---|
類型(通道位置) | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
流動方向 | 其他 | 壓力環(huán)境 | 其他 |
應用領域 | 綜合 | 種類 | 其他 |
真空閥(Vacuum Valve)是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動,、調節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門,。
MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160
MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160
L 型閥
AB/AE/ABR/AER 系列
軸封方式(波紋管密封、O 形圈密封)可根據(jù)使用目的選擇,。
16A~50A 可用于單作用和雙作用,。
所有尺寸均與反壓兼容。
真空閥(Vacuum Valve)是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動,、調節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門,。由于真空系統(tǒng)對密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴格要求,,真空閥的設計與普通閥門有顯著區(qū)別,。
真空閥根據(jù)工作原理可分為:
截止型真空閥(如真空擋板閥、真空蝶閥)——用于切斷或接通氣流,。
調節(jié)型真空閥(如真空微調閥,、針閥)——用于精確控制氣體流量和壓力。
放氣閥(如真空破空閥)——用于向真空腔體引入大氣,,平衡壓力,。
真空閥廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜,、航天模擬、粒子加速器,、醫(yī)療設備等領域,,是真空系統(tǒng)的關鍵組件。
真空閥的特點
特殊密封結構
金屬密封(如銅墊圈,、無氧銅刀口密封)適用于超高真空(UHV)環(huán)境,,橡膠密封(如氟橡膠、丁腈橡膠)適用于中低真空,。
無油設計
高潔凈真空閥采用干式(無潤滑)結構,,避免油蒸氣污染真空環(huán)境,適用于半導體和光學鍍膜行業(yè),。
多種驅動方式
手動,、氣動、電動或電磁驅動,,適應不同自動化需求,。
真空閥的優(yōu)點
超高密封性
采用金屬密封或氟橡膠(FKM)等特殊材料,確保閥門在超高真空(≤10?? Pa)環(huán)境下仍能保持極低泄漏率,。
部分高精度真空閥采用波紋管密封,,避免閥桿處泄漏。
低放氣率
閥體和密封材料經過特殊處理(如電拋光,、鍍鎳或烘烤除氣),,減少材料在真空環(huán)境下的氣體釋放,。
耐壓差能力強
可承受從大氣壓(10? Pa)到超高真空(10?? Pa)的巨大壓差,確保閥門在開關過程中不發(fā)生變形或泄漏,。