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干涉儀是一種通過測(cè)量光照射到物體時(shí)發(fā)生的干涉現(xiàn)象來測(cè)量物體的表面形狀,、折射率和尺寸的裝置。
干涉現(xiàn)象是多個(gè)波疊加并相互增強(qiáng)或抵消時(shí)產(chǎn)生新的波形,。當(dāng)波來自同一源或具有相同或相似的頻率時(shí),，這一點(diǎn)最為明顯。
干涉儀有不同類型,，例如邁克爾遜干涉儀,、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀。
干涉儀用途
干涉儀的主要用途是對(duì)玻璃,、金屬,、陶瓷等平板等物體表面進(jìn)行非接觸式觀察。例如,，玻璃產(chǎn)品包括智能手機(jī)蓋板玻璃,、液晶玻璃、分色光學(xué)系統(tǒng)中使用的棱鏡和半導(dǎo)體掩?；?，金屬產(chǎn)品包括模具和鋁盤。
此外,，還可以測(cè)量電子設(shè)備用半導(dǎo)體器件中使用的硅晶片,、硬盤基板等特殊物品。射電干涉儀還用于使用射電望遠(yuǎn)鏡進(jìn)行天文觀測(cè)。
干涉儀原理
主干涉儀將光源發(fā)出的光分成兩束,，使一束光束穿過樣品并與另一束干涉,。此時(shí)，光學(xué)距離根據(jù)透射樣品的折射率和距離而變化,，并出現(xiàn)干涉條紋圖案,。
通過用干涉儀分析干涉條紋圖案，可以測(cè)量測(cè)量樣品的表面形狀和透射波前形狀,。用干涉儀可以測(cè)量的尺寸最多只有幾厘米到十幾厘米,。如果測(cè)量樣品較大，可能需要采取切割等措施,。
干涉儀類型
干涉儀包括可測(cè)量平面玻璃,、晶圓和鏡子等拋光表面的干涉儀，以及可測(cè)量光學(xué)透鏡,、鋼球和塑料透鏡等球面的干涉儀,。還有在 2 軸或 3 軸上進(jìn)行測(cè)量的多軸干涉儀，這些多軸干涉儀可以實(shí)現(xiàn)更節(jié)省空間和高靈敏度的測(cè)量,。
激光掃描干涉儀還可以測(cè)量平面以外的表面,，例如圓柱面。用于測(cè)量玻璃,、光纖端面,、陶瓷、金屬磨削面,、注塑塑料等,。種類有很多種，需要根據(jù)用途來選擇,。
