日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

晶圓缺陷檢測：寬場熒光顯微成像模組

Wide-field Fluorescence Microscope Module

• 晶圓缺陷檢測：寬場熒光顯微成像模組以自動化顯微鏡模組為基礎(chǔ),，針對 SiC 等化合物半導(dǎo)體晶圓位錯,、層錯等缺陷檢測需求,。

• 無須化學(xué)腐蝕,、解理等樣品前處理工藝,，非接觸、無損,、整晶圓檢測,。

產(chǎn)品特性和核心技術(shù)：

激光自動聚焦。

• 自主研制的激光輔助離焦量傳感器,。

• 可在紫外激發(fā)光照射樣品并采集熒光信號的同時工作,，實現(xiàn)自動聚焦和表面跟蹤。

紫外暗場照明,。

• 標(biāo)配波長 275 nm 紫外激發(fā)光,，可按用戶要求定制其它波長激發(fā)光。

• 可同位采集明場顯微像,、可見光波段暗場熒光像,、紅外波段暗場熒光像，分析樣品中位錯,、層錯等,。

• 晶格缺陷的分布。

全自動操作,。

• 自動化的控制軟件和數(shù)據(jù)處理軟件,，全軟件操作。

相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)：

• 《中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) GB_T 43493.3-2023 半導(dǎo)體器件 功率器件用碳化硅同質(zhì)外延片缺陷的無損檢測識別判據(jù) 第 3 部分：缺陷的光致發(fā)光檢測方法》（2023 年 12 月 28 日發(fā)布,，2024 年7月1日實施）

性能參數(shù)：

應(yīng)用案例：

6 英寸 SiC 外延片缺陷檢測

堆疊層錯（SF）

基面位錯（BPD）