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光致發(fā)光光譜成像測量系統(tǒng) PMEye-3000
PMEye-3000光致發(fā)光光譜成像（PL-Mapping）測量系統(tǒng)是卓立漢光 新研制的,，用于LED外延片、半導體晶片,、太陽能電池材料等,，在生產(chǎn)線上的質量控制和實驗室中的產(chǎn)品研發(fā)檢測。該系統(tǒng)對樣品的PL譜進行Mapping二維掃描成像,，掃描結果以3D方式進行顯示，使檢測結果更易于分析和比較,。該系統(tǒng)的軟件窗口界面友好,，操作簡單，只需簡單培訓就能使用,。
測試原理：
PL（光致發(fā)光）是一種輻射復合效應,。在一定波長光源的激發(fā)下，電子吸收激發(fā)光子的能量,，向高能級躍遷而處于激發(fā)態(tài),。激發(fā)態(tài)是不穩(wěn)定的狀態(tài)，會以輻射復合的形式發(fā)射光子向低能級躍遷,，這種被發(fā)射的光稱為熒光,。熒光光譜代表了半導體材料內部，一定的電子能級躍遷的機制,，也反映了材料的性能及其缺陷,。PL是一種用于提供半導體材料的電學、光學特性信息的光譜技術,，可以研究帶隙,、發(fā)光波長、結晶度和晶體結構以及缺陷信息等等,。
光致發(fā)光光譜成像測量系統(tǒng)應用領域舉例：
LED外延片,，太陽能電池材料，半導體晶片,，半導體薄膜材料等檢測與研究,。
| 主要特點： ◆ PLMapping測量 ◆ 多種激光器可選 ◆ Mapping掃描速度：180點/秒 ◆ 空間分辨率：50um ◆ 光譜分辨率：0.1nm@1200g/mm ◆ Mapping結果以3D方式顯示 ◆ 大8吋的樣品測量 ◆ 樣品定位 ◆ 樣品真空吸附 ◆ 可做低溫測量 ◆ 膜厚測量 |  |
一體化設計，操作符合人體工學
PMEye3000 PL Mapping測量系統(tǒng)采用立式一體化設計,，關鍵尺寸根據(jù)人體工學理論設計,，不管是樣品的操作高度和電腦使用高度，都特別適合于人員操作,。主機與操作平臺高度集成,，方便于在實驗室和檢測車間里擺放,。儀器側面設計有可收放平臺，可擺放液晶顯示器和鼠標鍵盤,。儀器底部裝有滾輪,，方便于儀器在不同場地之間的搬動。
模塊化設計
PMEye-3000 PL Mapping測量系統(tǒng)全面采用模塊化設計思想,，可根據(jù)用戶的樣品特點來選擇規(guī)格配置,，讓用戶有更多的選擇余地。激發(fā)光源,、樣品臺,、光譜儀、探測器,、數(shù)據(jù)采集設備都實現(xiàn)了模塊化設計,。
操作簡便、全電腦控制
PMEye-3000 PL Mapping測量系統(tǒng),，采用整機設計,，用戶只需要根據(jù)需要放置檢測樣品，無需進行復雜的光路調整,，操作簡便,；所有控制操作均通過計算機來控制實現(xiàn)。
全新的樣品臺設計,，采用真空吸附方式對樣品進行固定,，避免了用傳統(tǒng)方式固定樣品而造成的損壞；可對常規(guī)尺寸的LED外延片樣品進行定位,，提高測量重復精度,。
兩種測量方式,用途更廣泛
系統(tǒng)采用直流和交流兩種測量模式，直流模式用于常規(guī)檢測,，交流模式用于微弱熒光檢測,。
監(jiān)控激發(fā)光源,校正測量結果
一般的PL測量系統(tǒng)只是測量熒光的波長和強度，而沒有對激發(fā)光源進行監(jiān)控,，而激發(fā)光源的不穩(wěn)定性將會對PL測量結果造成影響,。PMEye-3000 PL Mapping測量系統(tǒng)增加對激光強度的監(jiān)控，并根據(jù)監(jiān)控結果來對PL測量進行校正,。這樣就可以消除激發(fā)光源的不穩(wěn)定帶來的測量誤差,。
激光器選配靈活
PMEye-3000 PL Mapping測量系統(tǒng)有多種高穩(wěn)定性的激光器可選，系統(tǒng) 多可內置2個激光器和一個外接激光器,，標配為1個405nm波長高穩(wěn)定激光器,。用戶可以根據(jù)測量對象選配不同的激光器，使PL檢測更加精準,。
可選配的激光器波長有： 405nm,，442nm,，532nm、785nm,、808nm等,，外置選配激光器波長為：325nm。
自動Mapping功能
PMEye-3000 PL Mapping測量系統(tǒng)配置200×200mm的二維電控位移臺,， 大可測量8英寸的樣品,。用戶可以根據(jù)不同的樣品規(guī)格來設置掃描區(qū)域、掃描步長,、掃描速度等,，掃描速度可高達每秒180個點，空間分辨率可達50um,。掃描結果以3D方式顯示,，以不同的顏色來表示不同的熒光強度。
軟件功能豐富,操作簡便
我們具有多年的測量系統(tǒng)操作軟件開發(fā)經(jīng)驗,，,熟悉試驗測量需求和用戶的操作習慣，從而使開發(fā)的這套PMEye-3000操作軟件功能強大且操作簡便,。
MEye-3000操作軟件提供單點PL光譜測量及顯示,，單波長的X-Y Mapping測量，給定光譜范圍的X-Y Mapping測量及根據(jù)測量數(shù)據(jù)進行峰值波長,、峰值強度,、半高寬、給定波長范圍的熒光強度計算并以Mapping顯示,，Mapping結果以3D方式顯示,。同時具有多種數(shù)據(jù)處理方式來對所測量的數(shù)據(jù)進行處理。 
低溫樣品室附件
該附件可實現(xiàn)樣品在低溫狀態(tài)下的熒光檢測,。有些樣品在不同的溫度條件下,，將呈現(xiàn)不同的熒光效果，這時就需要對樣品
進行低溫制冷,。
PMEye-3000主要功能和技術參數(shù)
● 激發(fā)光源：405nm低噪聲半導體激光器,，功率：100mW（標配）
● 光譜分辨率：0.1nm（@1200g/mm光柵）
● 光探測器：硅光電探測器，200-1100nm
● 數(shù)據(jù)采集器：DCS300PA（直流模式,，標配）,；SR830鎖相放大器（交流模式，選配）
● 二維移動樣品臺,，行程200mm,，重復定位精度 <3μm
● 樣品臺：可放置6”晶片，真空吸附
● 掃描速度：10,800點/s
● 掃描步長： 小可達1.25μm
● 空間分辨率：<50μm
● 掃描模式：單點光譜掃描,、單波長mapping,、峰值波長mapping,、峰值強度mapping等
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