隨著先進的設(shè)備和工藝的發(fā)展,，使納米量級的測量成為可能,。例如，變相光學干涉儀測量物體的表面粗糙度,，目前可以達到1納米的分辨率,。在半導體領(lǐng)域，已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級的集成電路,，提出測量準確率小于50納米的精度要求,。
這樣的應(yīng)用對系統(tǒng)中不同元件相關(guān)配合精度和穩(wěn)定性提出了高的要求。
例如,，用顯微鏡對圖像進行高度放大的成像系統(tǒng)，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點的圖像,。如果,，在曝光過程中光學系統(tǒng)的每一部分（照明系統(tǒng)、樣品,、顯微鏡光學系統(tǒng),、成像光學系統(tǒng)和相紙平面）都地一同移動，不存在相對位移,，成像也會很清晰,。如果樣品相對物鏡產(chǎn)生了運動，則像就會模糊,。在光學干涉測量,、全息及運用相似的規(guī)律時，控制相對運動都是很重要的,。
在一個理想的剛性體內(nèi)部（只在理論上存在）,，任何兩點的相對位置都是不變的。也就是說,，在振動,、靜力矩或溫度變化的情況下，任何實體的尺寸和形狀都是不變的,。如果所有的元件都穩(wěn)固地連接成一個理想的剛性體,，不同元件之間沒有相對位移，系統(tǒng)的性能也會很穩(wěn)固,。
理想的剛性體是不存在的?，F(xiàn)實中的系統(tǒng)只能近似的認為是剛性的，因此,，其穩(wěn)定性就要受到多方面因素的影響,。例如外界的振源，系統(tǒng)的重量,，光學平臺的結(jié)構(gòu)等等,。
為了提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性,，我們可以從以下的幾個方面來著手。
1,、將系統(tǒng)與振源隔離,。
外界的振源來源很多，比如地面的自振,，各種聲音等等,。但是影響 大的是各種低頻的振源，主要集中在10～100Hz頻率內(nèi),。將系統(tǒng)與這些振源隔離可以有效的提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性,。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統(tǒng)與振源隔離。
2,、控制振動的作用,。
將系統(tǒng)組裝成動態(tài)的剛性結(jié)構(gòu)可以保證系統(tǒng)內(nèi)部的相對穩(wěn)定性，且可以降低在外界的影響下產(chǎn)生共振的幾率,，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性
3,、控制靜力矩的作用。
光學平臺的硬重比對于其共振頻率有著重要的影響,。較高的硬重比可以提高平臺的共振頻率,，從而降低其在外界影響下的振動。而且在外力作用下,，具有較高硬重比的平臺可以在 小的重量下產(chǎn)生 小的變形,，增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的光學平臺可以充分的提高硬重比,，達到提高系統(tǒng)性能的目的,。
4、控制溫度變化,。
隨著時間的延續(xù),，不規(guī)則溫度變化會造成漸漸的結(jié)構(gòu)彎曲。減小溫度效應(yīng)的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化,。例如,，避免在平臺下放置散熱設(shè)備，隔絕熱源設(shè)備和硬件,，如光源,、火焰等。
盡可能將臺面設(shè)計成對溫度不敏感的,。
良好的熱傳導性可起到作用,，然而，在端特殊的應(yīng)用中，選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必要的,。例如超不脹鋼,，具有小的熱膨脹系數(shù)。一米長的超不脹鋼在溫度變化1K時膨脹長度約0.2微米,。
卓立漢光的光學平臺采用表面鐵磁不銹鋼,，芯部蜂窩結(jié)構(gòu)支撐的結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu),，不但充分的發(fā)揮了鐵磁不銹鋼材料剛性好,，溫度膨脹系數(shù)小，耐腐蝕的優(yōu)點,，而且提高了平臺的硬重比,，增加了剛性，降低了變形量,，提高了抗靜力矩能力,。而且鐵磁不銹鋼耐腐蝕，能吸附磁性底座,，可以方便的搭建各種光學系統(tǒng)。適用于承載較大,，對抗振性要求較高的系統(tǒng),。
我公司的光學平板采用鋁材制造。與鋼材相比,，鋁材硬重比大,，有一定的抗振性，溫度傳導性好,，不良環(huán)境中溫度形變小,，陽氧化后美觀，耐磨,，但是鋁材的剛性較差,，無法承載較大的重量。因此一般用于承載較小的系統(tǒng)種,。而且不宜懸空支撐,。
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