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參考價: | ¥ 2000 |
訂貨量: | 1件 |
- RK1500 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):12更新時間:2025-05-22 10:02:30
- 聯(lián)系人:
- 汪雅琪
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- 86-028-87319898
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- 13166082288
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- 地址:
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- 個性化:
- www.cosimoinc.cn
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
低泄漏流量測量控制用,該裝置是配有波紋管密封針閥的流量計,,設(shè)計用于承受高真空,,高壓,高溫,,有毒氣體等的使用,。
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
所有產(chǎn)品均使用氦氣檢漏儀進行泄漏檢測,因此具有高度可靠的泄漏檢測能力,。
因為是波紋管密封型裝置,,不存在針閥軸泄漏的可能性。
流體接觸部分的材料只使用SUS316,、氟樹脂,、氟橡膠和硬質(zhì)玻璃,因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性
具有高精度再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的流量計,,由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯,、肋導(dǎo)向流量計管和超精密球組成,裝設(shè)有流暢流量特性的精密針閥,。
用途
用于真空設(shè)備
用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)(氣體):
基于熱擴散原理,,直接測量氣體質(zhì)量流量(無需溫壓補償)。
低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導(dǎo)體工藝氣體控制),。
壓差式技術(shù)(液體):
通過層流元件產(chǎn)生壓差,,線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計:接液部分可選316L不銹鋼,、哈氏合金或PEEK材質(zhì),。
智能功能:
數(shù)字通信(RS-485、Modbus,、DeviceNet),。
自診斷報警(流量超限、傳感器異常),。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列),。
要求:流量穩(wěn)定性±0.5%,響應(yīng)時間<1秒,。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認證(Ex d IIC T6),。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰(zhàn):硅烷易燃易爆,,需杜絕泄漏風(fēng)險,。
方案:全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能,。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質(zhì)選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封,。
氣體 | 流體 | ||
---|---|---|---|
流體名稱 | Air,,N2,O2,,H2,,He,Ar,,CO2(實際氣體校準) 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準,,實際氣體校準請另行咨詢 ※選項:2種流體刻度 | 標準流體(H2O) 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準 (但是,會產(chǎn)生與實際液體的誤差,。) | |
流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN(參考容量列表) ※選項:0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1~1L / MIN(參考容量列表) ※選項:0.5~3ML / MIN | |
精度 | FS±2%(計量點)※選項:FS±1%(計量點) | FS±2%(計量點) | |
耐壓 | 100ML / MIN以下:1.0MPa 5L / MIN以下:0.7MPa 10L / MIN以上:0.5MPa | 5ML / MIN以下:1.0MPa 150ML / MIN以下:0.7MPa 200ML / MIN以上:0.5MPa | |
有效刻度 | 10:1 ※選項20:1 |
材質(zhì) | SS制 | |
---|---|---|
主體區(qū)塊 | SUS316 | |
錐形管 | 硬玻璃 | |
密封材料 | 氟橡膠 | |
浮標 | 硬質(zhì)玻璃,,SUS316 | |
保護罩 | 丙烯 | |
最高使用溫度 | 60℃ | |
連接端口 | 1 / 4F 900(標準),1/8 F 900(可選),,1/4 UJR(選項)* O形密封圈的標準規(guī)格(可選配焊接密封) |