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3100KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價: | ￥ 8650 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- 3100 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：9更新時間：2025-05-21 09:35:05
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年,，專注于質(zhì)量流量計（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn),，產(chǎn)品以高精度,、低壓損、長壽命著稱,，廣泛應用于半導體,、光伏、醫(yī)療和化工等領域,。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發(fā)的用于高精度流量測量的新型質(zhì)量流量計,。
這種高級型號采用新型低壓力毛細管流量傳感器，可確保高速響應和長期穩(wěn)定性,。
配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器,，實現(xiàn)高精度，高速響應
F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項）
技術優(yōu)勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理,，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）,。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）,。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號,。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼,、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485,、Modbus,、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限,、傳感器異常）,。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應時間＜1秒,。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆,，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能,。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）,。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可選） |
|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 響應速度 | 1秒內(nèi) |
| 準確性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | 在±0.2％FS（20°C）內(nèi) |
| 耐壓 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結露） |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets） | |
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接頭 （體型） | 標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR,，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 約800g |
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