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5410KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價: | ￥ 7520 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- 5410 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：12更新時間：2025-05-21 09:31:58
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計（MFM）,、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度,、低壓損,、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光伏,、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
5410型是一種質(zhì)量流量計,，具有進一步改進的基本性能,。
雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅(qū)動方法已得到改進,，以減少零漂移,。
它是一種通過金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭,。
提高每個流量范圍的精度
適用于微流量（選項規(guī)格）
由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格）,，金屬密封，泄漏低
價格便宜
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴散原理,，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）,。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差,，線性輸出流量信號,。
耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì),。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485,、Modbus,、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限,、傳感器異常）,。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應(yīng)時間＜1秒,。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆,，需杜絕泄漏風(fēng)險。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能,。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）,。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 準確性 | ±1％F.S.（20°C） | |
| 溫度系數(shù) | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S.（20°C）內(nèi) | |
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C） | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜Ni.Co | ||
| 閥座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L,，Ni | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC 標準（符合SEMI標準） | |
| 流量設(shè)定 輸入信號 | 0~5 VDC（最小負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA,， -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標準1/4 VCR等效 | |
| 重量 | 約800g | |
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