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TG390MOsaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
參考價(jià): 6500
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • TG390M 產(chǎn)品型號(hào)
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):23更新時(shí)間:2025-03-29 14:39:29

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產(chǎn)品簡介
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設(shè)計(jì),,運(yùn)行數(shù)據(jù),、觸地計(jì)數(shù)、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中 * 即使在大修期間更換控制器,,也可以傳輸數(shù)據(jù),。
產(chǎn)品介紹

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設(shè)計(jì),,運(yùn)行數(shù)據(jù),、觸地計(jì)數(shù)、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中 * 即使在大修期間更換控制器,,也可以傳輸數(shù)據(jù),。

各種通信規(guī)格:并行 I/O、RS232C,、RS485,、Profibus,、DeviceNet、EtherCAT

國際標(biāo)準(zhǔn):NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵


渦輪分子泵是一種高真空泵,,通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片將氣體分子從進(jìn)氣口定向抽向排氣口,,通常與前級(jí)泵(如旋片泵)聯(lián)用,,實(shí)現(xiàn)10?11~10?1 Pa(超高真空至中真空)的壓力范圍,。其特點(diǎn)是無油污染、抽速快,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、科研,、鍍膜等領(lǐng)域,。

結(jié)構(gòu)與工作原理

(1)核心組件

轉(zhuǎn)子葉片:多級(jí)鋁合金或鈦合金渦輪葉片(轉(zhuǎn)速約20,000~90,000 RPM),。

定子葉片:與轉(zhuǎn)子交錯(cuò)排列,,形成氣體通道。

電機(jī):高頻交流電機(jī)或磁懸浮軸承電機(jī)(避免機(jī)械磨損),。

排氣口:連接前級(jí)泵(如旋片泵),,排出壓縮后的氣體,。

(2)工作原理

動(dòng)量傳遞:高速旋轉(zhuǎn)的葉片撞擊氣體分子,,使其向下級(jí)運(yùn)動(dòng)(分子流態(tài)下有效)。

壓縮比:每級(jí)葉片對氣體進(jìn)行壓縮,最終由前級(jí)泵排至大氣,。

工作壓力范圍:依賴分子流狀態(tài)(需氣體分子平均自由程>葉片間距),。

?? 注:渦輪分子泵在**分子流態(tài)(壓力<10?1 Pa)**下效率高,需避免大氣壓下啟動(dòng)(會(huì)過熱損壞),。



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