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MM-3102LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25100 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- MM-3102L 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：19更新時間：2025-03-28 14:43:54
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進行控制,，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制,。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器,、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成,。
典型應(yīng)用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
4. 科研實驗：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）
環(huán)境模擬實驗（溫濕度聯(lián)動控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成,。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,，造成溫度下降,，為維持原本與比的溫差，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫,。
產(chǎn)品核心優(yōu)勢
精準控制能力：
采用自適應(yīng)PID算法,，在10%-100%量程內(nèi)保持線性度±0.5%
零漂移補償技術(shù)，長期穩(wěn)定性<±0.5%/年
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