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MC-5250CLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25060 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- MC-5250C 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：22更新時間：2025-03-27 15:41:46
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5250C
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5250C
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響,，可精準地對流體進行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器,、分流器,、制閥以及控制回路所構成。
核心技術架構
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理,，采用毛細管式或旁路式設計,，溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）
控制系統(tǒng)：
24位Σ-Δ ADC轉(zhuǎn)換器
數(shù)字PID算法（響應時間<100ms）
支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議
閥體系統(tǒng)：
壓電瓷閥（響應時間<10ms）
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構成,。當氣體未流入時,。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降,，為維持原本與比的溫差,，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。利用產(chǎn)生的電力和氣體流量的比例做比對,、計算出流體的正確流量,。
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