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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器,。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-7200D
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-7200D
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器,。由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制,，故不受溫度及壓力的影響,，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器,、分流器,、制閥以及控制回路所構成,。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成,。當氣體未流入時,。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降,，為維持原本與比的溫差,，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。利用產生的電力和氣體流量的比例做比對,、計算出流體的正確流量,。加熱的電壓值是利用補償環(huán)境溫度后，補足與質流傳感器之溫差所得,，故質流傳感器的電壓值不受周圍溫度影響,。
核心技術架構
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設計,，溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合,，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）
科里奧利式：直接質量測量，精度可達±0.1%讀數(shù)
控制系統(tǒng)：
24位Σ-Δ ADC轉換器
數(shù)字PID算法（響應時間<100ms）
支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議
閥體系統(tǒng)：
壓電瓷閥（響應時間<10ms）
電磁比例閥（壽命>10?次循環(huán)）
金屬密封閥座（耐壓10MPa）
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