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MC-7100DLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
參考價: 25020
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • MC-7100D 產(chǎn)品型號
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
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訪問次數(shù):36更新時間:2025-03-27 15:34:55

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100D
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。
產(chǎn)品介紹

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100D


LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100D


質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進(jìn)行控制,,故不受溫度及壓力的影響,,可精準(zhǔn)地對流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器,、分流器,、制閥以及控制回路所構(gòu)成。

溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最大F.S.密封材
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM20SLMAu


質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),,下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成,。當(dāng)氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,,造成溫度下降,,為維持原本與比的溫差,回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進(jìn)行加溫,。利用產(chǎn)生的電力和氣體流量的比例做比對、計算出流體的正確流量,。加熱的電壓值是利用補(bǔ)償環(huán)境溫度后,,補(bǔ)足與質(zhì)流傳感器之溫差所得,故質(zhì)流傳感器的電壓值不受周圍溫度影響,。

當(dāng)氣體流入后,,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號,,反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,,以此進(jìn)行流量的控制。



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